[实用新型]一种晶圆夹持装置有效
| 申请号： | 201922103501.3 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN211208416U | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 孔剑;臧晓园;徐晨晨;刘景业 | 申请（专利权）人： | 东台镭创光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 224200 江苏省盐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 夹持 装置 | ||
1.一种晶圆夹持装置，其特征在于，包括夹持臂、连接组件和至少三个晶圆夹钩；
所述夹持臂的侧面设有吸气口，所述夹持臂内部安装有与所述吸气口相连的抽气机构；
所述连接组件包括与所述夹持臂底部固接的竖轴、与所述竖轴垂直固接的横轴以及设于所述横轴外围的圆环，所述圆环能够以横轴为中心转动；
所述晶圆夹钩安装于所述圆环且能够相对圆环移动。
2.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述抽气机构包括气筒、与所述气筒相连通的导气管、设于所述气筒内的活塞以及与所述活塞相连的活塞柄，所述活塞柄位于所述夹持臂外部，所述导气管与所述吸气口相连。
3.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述晶圆夹钩包括固定连接的套环、连杆、旋转轴以及与旋转轴转动相连的钩体。
4.根据权利要求3所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述晶圆夹钩还包括用于固定所述旋转轴和所述钩体的固定锁，所述固定锁包括转杆以及通过转杆形成转动连接的固定块和卡块，所述卡块端部设有能够与所述旋转轴卡合的卡槽。
5.根据权利要求3所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述晶圆夹钩的钩体末端为楔形。
6.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述晶圆夹钩的长度为8-12cm。
7.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述横轴位于所述圆环的中央并将圆环分隔为两个半圆环，每个所述半圆环上套有至少一个晶圆夹钩。
8.根据权利要求7所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述晶圆夹钩的数量为三个，且以2:1的数量比安装于两个半圆环上。
9.根据权利要求1所述的晶圆夹持装置，其特征在于，所述夹持臂相对所述吸气口的一侧面设有能够卡合晶圆夹钩的凹槽。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
