[实用新型]一种晶圆夹持装置

说明书

本实用新型公开了一种晶圆夹持装置，包括夹持臂、连接组件和至少三个晶圆夹钩；所述夹持臂的侧面设有吸气口，所述夹持臂内部安装有与所述吸气口相连的抽气机构；所述连接组件包括与所述夹持臂底部固接的竖轴、与所述竖轴垂直固接的横轴以及设于所述横轴外围的圆环，所述圆环能够以横轴为中心转动；所述晶圆夹钩安装于所述圆环且能够相对圆环移动。本实用新型能够高效夹取竖向或横向放置的晶圆。

技术领域

本实用新型属于半导体制造技术领域，具体涉及一种晶圆夹持装置。

背景技术

半导体制造工艺中，晶圆需要被匀胶、光刻，在进行上述工艺前后，需将竖直存放于晶圆储存盒或水平存放于玻璃器皿中的晶圆取出，晶圆大规模生产过程中，需要每一步操作都能快速、节省时间，晶圆由于厚度薄、易碎，普通镊子夹取晶圆过程中常需要慢慢小心夹取，耗费较多时间，且容易出现夹碎或脱落摔碎的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种晶圆夹持装置，能够高效夹取竖向或横向放置的晶圆。

本实用新型提供了如下的技术方案：

一种晶圆夹持装置，包括夹持臂、连接组件和至少三个晶圆夹钩；

所述夹持臂的侧面设有吸气口，所述夹持臂内部安装有与所述吸气口相连的抽气机构；

所述连接组件包括与所述夹持臂底部固接的竖轴、与所述竖轴垂直固接的横轴以及设于所述横轴外围的圆环，所述圆环能够以横轴为中心转动；

所述晶圆夹钩安装于所述圆环且能够相对圆环移动。

优选的，所述抽气机构包括气筒、与所述气筒相连通的导气管、设于所述气筒内的活塞以及与所述活塞相连的活塞柄，所述活塞柄位于所述夹持臂外部，所述导气管与所述吸气口相连。

优选的，所述晶圆夹钩包括固定连接的套环、连杆、旋转轴以及与旋转轴转动相连的钩体。

优选的，所述晶圆夹钩还包括用于固定所述旋转轴和所述钩体的固定锁，所述固定锁包括转杆以及通过转杆形成转动连接的固定块和卡块，所述卡块端部设有能够与所述旋转轴卡合的卡槽。

优选的，所述晶圆夹钩的钩体末端为楔形。

优选的，所述晶圆夹钩的长度为8-12cm。

优选的，所述横轴位于所述圆环的中央并将圆环分隔为两个半圆环，每个所述半圆环上套有至少一个晶圆夹钩。

优选的，所述晶圆夹钩的数量为三个，且以2:1的数量比安装于两个半圆环上。

优选的，所述夹持臂相对所述吸气口的一侧面设有能够卡合晶圆夹钩的凹槽。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型中的圆环能够以横轴为中心转动，晶圆夹钩能够相对圆环移动，从而实现晶圆夹钩的位置调整；当需要夹取竖直存放于储存盒中的晶圆时，将晶圆夹钩调整至与吸气口位于同一竖直平面，抽气机构抽气使吸气口吸附于晶圆表面，同时以晶圆夹钩固定晶圆边缘，平稳夹取晶圆；当需要夹取水平存放于玻璃器皿中的晶圆时，将各晶圆夹钩调整至位于同一水平面，平稳夹取晶圆，操作方便、高效。

附图说明

图1是本实用新型夹取水平放置晶圆时的结构示意图；

图2是抽气机构的结构示意图；

图3是晶圆夹钩的结构示意图；

图4是图3中部分结构示意图；

图5是图4中固定锁的放大结构示意图；

图6是本实用新型夹取竖直放置晶圆时的结构示意图；

图7是图6中本实用新型的主视结构示意图；