[实用新型]一种扩散插片机及其扩散退火碎片检测装置有效
| 申请号： | 201922107309.1 | 申请日： | 2019-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN210443535U | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 温卫江;饶旭杰;周典儒 | 申请（专利权）人： | 浙江正泰太阳能科技有限公司;海宁正泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 310051 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩散 插片机 及其 退火 碎片 检测 装置 | ||
1.一种扩散退火碎片检测装置，其特征在于，包括用以感应吸盘存在情况的吸盘感应器(1)、用以感应顶齿(4)存在情况的顶齿感应器(2)，以及设于所述吸盘感应器(1)与所述顶齿感应器(2)之间、用以感应散落于所述顶齿(4)内部的碎片存在情况的碎片感应器(3)，所述吸盘感应器(1)、所述顶齿感应器(2)以及所述碎片感应器(3)均设置于插片机机架上；还包括与所述吸盘感应器(1)、所述碎片感应器(3)、所述顶齿感应器(2)以及PLC相连、用以当所述吸盘感应器(1)未检测到吸盘存在、且所述碎片感应器(3)检测到碎片存在时，或者所述顶齿感应器(2)未检测到顶齿(4)存在、且所述碎片感应器(3)检测到碎片存在时，能够控制所述PLC停止运行的控制装置。
2.根据权利要求1所述的扩散退火碎片检测装置，其特征在于，所述控制装置包括与所述碎片感应器(3)相连的继电器KA1、与所述吸盘感应器(1)相连的继电器KA2以及与所述顶齿感应器(2)相连的继电器KA3，所述继电器KA1、所述继电器KA2和所述继电器KA3串联于同一线路上，所述继电器KA1为常开式继电器，所述继电器KA2和所述继电器KA3为常闭式继电器。
3.根据权利要求2所述的扩散退火碎片检测装置，其特征在于，所述碎片感应器(3)具体为光纤感应器。
4.根据权利要求3所述的扩散退火碎片检测装置，其特征在于，所述碎片感应器(3)的检测位置与顶齿(4)的最低点相平齐。
5.根据权利要求4所述的扩散退火碎片检测装置，其特征在于，所述吸盘感应器(1)和所述顶齿感应器(2)具体为光电感应器或者光纤感应器。
6.根据权利要求1～5任一项所述的扩散退火碎片检测装置，其特征在于，还包括与所述控制装置相连、用以当所述控制装置控制所述PLC停止时鸣响报警的报警器。
7.一种扩散插片机，其特征在于，包括上述权利要求1～6任一项所述的扩散退火碎片检测装置。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
