[实用新型]一种2DMEMS探针卡用干燥装置

权利要求书

1.一种2DMEMS探针卡用干燥装置，其特征在于：包括外箱（1）、电动机（2）、夹具（3）、端盖（4）、空心板（5）、输气管（6）、安装机构以及卡合机构，所述外箱（1）后端固定安装电动机（2），且电动机（2）前端延伸至外箱（1）内部，所述电动机（2）前端固定安装夹具（3），所述外箱（1）顶端安装端盖（4），且端盖（4）底端安装空心板（5），所述端盖（4）顶端安装输气管（6），且输气管（6）底端穿过端盖（4）与空心板（5）相连接；

所述安装机构包括T型槽（7）、T型块（8）、回位弹簧（9）、T型杆（10）、弹簧一（11）以及斜块（12），所述端盖（4）底端对称开设两个T型槽（7），所述空心板（5）顶端对称固定安装两个T型块（8），所述T型块（8）安装在T型槽（7）内部，所述端盖（4）顶端对称安装两个T型杆（10），且T型杆（10）一端延伸至T型槽（7）内部，所述T型杆（10）底端固定安装斜块（12），所述T型槽（7）内部后壁上固定安装回位弹簧（9），所述T型杆（10）环形侧面上安装弹簧一（11），且弹簧一（11）两端分别固定安装在T型杆（10）上以及端盖（4）上；

所述卡合机构包括固定块（15）、固定销（16）、L型杆（17）、弹簧二（18）以及压块（19），所述外箱（1）外侧对称固定安装两个固定块（15），且两个固定块（15）之间固定安装固定销（16），所述固定销（16）环形侧面上安装L型杆（17），且L型杆（17）一端固定安装弹簧二（18），所述弹簧二（18）一端固定安装在压块（19）顶端，且压块（19）底端与端盖（4）顶端相贴合。

2.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用干燥装置，其特征在于：所述安装机构设有两组，两组所述安装机构结构相同，两组所述安装机构对称安装在端盖（4）底端。

3.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用干燥装置，其特征在于：所述T型槽（7）内部顶端开设收纳槽（13），所述斜块（12）顶端延伸至收纳槽（13）内部，所述T型块（8）顶端开设限位槽（14），所述斜块（12）底端延伸至限位槽（14）内部。

4.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用干燥装置，其特征在于：所述固定销（16）环形侧面上固定安装复位盘簧（20），且复位盘簧（20）外侧固定安装在L型杆（17）内部，所述固定块（15）之间固定安装磁杆（21）。

5.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用干燥装置，其特征在于：所述卡合机构设有四组，四组所述卡合机构结构相同，四组所述卡合机构对称安装在外箱（1）左右两端，所述输气管（6）环形侧面上开设外螺纹，所述空心板（5）顶端开设螺纹孔，所述输气管（6）通过螺纹孔以及外螺纹与空心板（5）相连接，所述空心板（5）底端均匀开设两个以上喷气孔，所述输气管（6）一端与外接高温喷气设备相连接。

6.根据权利要求1所述的一种2DMEMS探针卡用干燥装置，其特征在于：所述端盖（4）一端通过螺钉一固定安装弹簧合页，且弹簧合页另一端通过螺钉二固定安装在外箱（1）上，所述端盖（4）通过弹簧合页与外箱（1）相连接。