[实用新型]一种2DMEMS探针卡用干燥装置

说明书

本实用新型公开了一种2DMEMS探针卡用干燥装置，包括外箱、电动机、夹具、端盖、空心板、输气管、安装机构以及卡合机构；安装机构包括T型槽、T型块、回位弹簧、T型杆、弹簧一以及斜块；卡合机构包括固定块、固定销、L型杆、弹簧二以及压块。本实用新型当斜块与限位槽对齐时，在弹簧一弹力的作用下，斜块移动进入限位槽内部，进而将T型块卡接在T型槽内部，转动L型杆，L型杆转动与磁杆分离，在复位盘簧弹力的作用下，L型杆转动带动压块移动，使得压块与端盖贴合，L型杆继续转动对弹簧二进行压缩，使得弹簧二产生弹力，弹簧二的弹力提高了压块对端盖的压合力。

技术领域

本实用新型涉及一种2DMEMS探针卡用干燥装置，属于探针卡技术领域。

背景技术

探针卡是一种测试接口，主要对裸芯进行测试，通过连接测试机和芯片，通过传输信号对芯片参数进行测试。

目前使用的探针卡干燥装置存在一定缺陷，缺少空心板便捷拆装功能，造成不方便对空心板进行维护，进而降低了对探针卡的干燥效率，同时缺少端盖便捷卡合功能，当高温高压气体从空心板内部喷出时，端盖容易在气体反作用的作用下晃动，若通过锁扣进行连接，则不方便端盖的开启，进而不方便将探针卡安装在夹具上。因此，针对上述问题提出一种2DMEMS探针卡用干燥装置、安装机构以及卡合机构。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种2DMEMS探针卡用干燥装置。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种2DMEMS探针卡用干燥装置，包括外箱、电动机、夹具、端盖、空心板、输气管、安装机构以及卡合机构，所述外箱后端固定安装电动机，且电动机前端延伸至外箱内部，所述电动机前端固定安装夹具，所述外箱顶端安装端盖，且端盖底端安装空心板，所述端盖顶端安装输气管，且输气管底端穿过端盖与空心板相连接；

所述安装机构包括T型槽、T型块、回位弹簧、T型杆、弹簧一以及斜块，所述端盖底端对称开设两个T型槽，所述空心板顶端对称固定安装两个T型块，所述T型块安装在T型槽内部，所述端盖顶端对称安装两个T型杆，且T型杆一端延伸至T型槽内部，所述T型杆底端固定安装斜块，所述T型槽内部后壁上固定安装回位弹簧，所述T型杆环形侧面上安装弹簧一，且弹簧一两端分别固定安装在T型杆上以及端盖上；

所述卡合机构包括固定块、固定销、L型杆、弹簧二以及压块，所述外箱外侧对称固定安装两个固定块，且两个固定块之间固定安装固定销，所述固定销环形侧面上安装L型杆，且L型杆一端固定安装弹簧二，所述弹簧二一端固定安装在压块顶端，且压块底端与端盖顶端相贴合。

优选的，所述安装机构设有两组，两组所述安装机构结构相同，两组所述安装机构对称安装在端盖底端。

优选的，所述T型槽内部顶端开设收纳槽，所述斜块顶端延伸至收纳槽内部，所述T型块顶端开设限位槽，所述斜块底端延伸至限位槽内部。

优选的，所述固定销环形侧面上固定安装复位盘簧，且复位盘簧外侧固定安装在L型杆内部，所述固定块之间固定安装磁杆。

优选的，所述卡合机构设有四组，四组所述卡合机构结构相同，四组所述卡合机构对称安装在外箱左右两端，所述输气管环形侧面上开设外螺纹，所述空心板顶端开设螺纹孔，所述输气管通过螺纹孔以及外螺纹与空心板相连接，所述空心板底端均匀开设两个以上喷气孔，所述输气管一端与外接高温喷气设备相连接。

优选的，所述端盖一端通过螺钉一固定安装弹簧合页，且弹簧合页另一端通过螺钉二固定安装在外箱上，所述端盖通过弹簧合页与外箱相连接。