[实用新型]一种扫描电镜用多功能样品台有效
申请号: | 201922118164.5 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN210692478U | 公开(公告)日: | 2020-06-05 |
发明(设计)人: | 刘胜新;陈永;王瑞娟;陈志民;王靖博;连明洋;吴奇隆;冯丽;王鸿杰;王朋旭;禹润缜;李书珍 | 申请(专利权)人: | 郑州大学 |
主分类号: | H01J37/20 | 分类号: | H01J37/20;H01J37/28;G01N23/2204 |
代理公司: | 郑州芝麻知识产权代理事务所(普通合伙) 41173 | 代理人: | 胡向阳 |
地址: | 450000 河南省郑州*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 扫描电镜 多功能 样品 | ||
1.一种扫描电镜用多功能样品台,包括主台(1)、副台(2)、弹性垫(3)、圆头紧固螺栓(4)、载样桶(5)、紧固螺杆(6)、磁环Ⅰ(7)、磁环Ⅱ(8)和上顶螺钉(9),其特征在于:所述的弹性垫(3)粘贴在副台(2)上,所述的主台(1)和副台(2)连接在一起;
所述的主台(1)下半部是圆形,上半部是半圆形,包括平面台(1-1)、托面台(1-2)、定位凹槽(1-3)和阶梯通孔(1-4),定位凹槽(1-3)位于平面台(1-1)的平面一侧,阶梯通孔(1-4)的大孔位于平面台(1-1)的弧面一侧,阶梯通孔(1-4)的小孔贯穿平面台(1-1)将定位凹槽(1-3)与阶梯通孔(1-4)的大孔相连;
所述的副台(2)呈弓形,包括弓形块(2-1)、定位凸起(2-2)、螺纹孔(2-3)、固定套孔(2-4)和螺钉孔Ⅰ(2-5),定位凸起(2-2)位于弓形块(2-1)的平面一侧,定位凸起(2-2)上设有螺纹孔(2-3),固定套孔(2-4)位于弓形块(2-1)的上半部,螺钉孔Ⅰ(2-5)位于弓形块(2-1)的下半部,螺钉孔Ⅰ(2-5)是由大孔和带有内螺纹的小孔组成的阶梯孔,磁环Ⅰ(7)位于固定套孔(2-4)的底部,磁环Ⅰ(7)镶嵌入弓形块(2-1)中;
所述的上顶螺钉(9)安装在副台(2)的螺钉孔Ⅰ(2-5)内;
所述的载样桶(5)安装在副台(2)的固定套孔(2-4)内,载样桶(5)底部镶嵌有磁环Ⅱ(8),载样桶(5)桶壁上开有螺钉孔Ⅱ(5-1),紧固螺杆(6)安装在螺钉孔Ⅱ(5-1)上;
所述的主台(1)的定位凹槽(1-3)与副台(2)的定位凸起(2-2)相配合连接,将主台(1)与副台(2)安装在一起。
2.根据权利要求1所述的扫描电镜用多功能样品台,其特征在于:所述的定位凸起(2-2)的高度比定位凹槽(1-3)的深度小0.2mm。
3.根据权利要求1所述的扫描电镜用多功能样品台,其特征在于:所述的圆头紧固螺栓(4)穿过主台(1)的阶梯通孔(1-4),与副台(2)的螺纹孔(2-3)配合连接,将主台(1)和副台(2)紧固在一起,副台(2)的上表面与主台(1)的平面台(1-1)上表面处于同一水平面内。
4.根据权利要求1所述的扫描电镜用多功能样品台,其特征在于:所述的弹性垫(3)的厚度为0.5mm-1.5mm。
5.根据权利要求1所述的扫描电镜用多功能样品台,其特征在于:所述的紧固螺杆(6)为全螺纹,一端设有一字凹槽。
6.根据权利要求1所述的扫描电镜用多功能样品台,其特征在于:所述的圆头紧固螺栓(4)由杆身和圆形端头组成,在杆身端设有外螺纹,在圆形端头开有一字凹槽。
7.根据权利要求1所述的扫描电镜用多功能样品台,其特征在于:所述的上顶螺钉(9)由杆身和圆形帽组成,杆身为全螺纹,杆身端头设有一字凹槽。
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