[实用新型]一种扫描电镜用多功能样品台

说明书

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，具体是一种扫描电镜用多功能样品台，包括主台、副台、弹性垫、圆头紧固螺栓、载样桶、紧固螺杆、磁环Ⅰ、磁环Ⅱ和上顶螺钉，弹性垫粘贴在副台上，主台和副台通过圆头紧固螺栓连接。主台的上表面放置表面样品，主台侧面放置断面样品，弹性垫对不同厚度的断面样品均能起到压紧作用，载样桶放置圆柱样品并通过紧固螺杆固定，载样桶通过磁环与副台连接，上顶螺钉可将载样桶顶出。本实用新型保证了圆柱形样品上表面、断面样品断面、表面样品表面所在水平面垂直于电子束入射的方向，且各种样品均能有效固定，保证了对样品观察的顺利进行，扩大了样品台的使用范围，是扫描电镜用样品台方面的创新。

技术领域

本实用新型属于扫描电镜用样品台技术领域，特别是一种扫描电镜用多功能样品台。

背景技术

扫描电子显微镜(扫描电镜)是一种现代材料分析中的重要仪器，它具有放大倍数可调范围宽、成像分辨率高、景深大等特点，广泛应用于冶金学、材料学、生物学、医学等领域，促进了各有关学科的迅速发展。扫描电镜的一个重要特点是景深大，扫描电镜的焦深比透射电子显微镜大数十倍，比光学显微镜大几百倍。由于图像景深大，故所得扫描电子图像富有立体感，具有三维形态，能够提供比其它显微镜更多的信息，具有极大的使用价值。扫描电镜所显示的样品形貌在教学、科研和生产中，有着其它电镜不可替代的作用。

样品台是扫描电镜的关键部件之一，它用以承载样品，并通过电子系统成像表征样品的特征。由于扫描电镜自身结构特点，待观测的试样需要稳定地安置于样品台上，且被观测表面要垂直于电子束的入射方向。

在科研和生产过程中使用样品台时，技术人员普遍遇到了下述问题：

1)功能单一。目前使用的样品台功能单一，有的只能放置表面样品，有的只能放置断面样品，有的虽然可同时放置断面样品和表面样品，每次样品台进观察仓抽真空的样品类型少，扫描电镜的利用率低，科研成本高。

2)圆柱形样品容易脱落。观察圆柱形样品的断面时，圆柱形样品的上表面和下表面打磨好后使两表面平行，需稳定的放置在样品台上才能进行观察，目前暂无专门承载圆柱形样品的样品台。技术人员一般采用的方法是：在样品台表面粘贴导电胶带或导电胶水，然后将圆柱形样品的下表面固定在导电胶带或导电胶水上，再进行观察分析。在操作过程中，圆柱形样品很容易从样品台上脱落下来，不但影响样品的观察，而且还会对扫描电镜的仓体造成污染，不得不停机维修，工作效率低。

3)不能保证电子束垂直于样品断面。观察片状样品尤其是薄膜状样品的断面时，样品无法稳定地放置在普通的样品台上，而且很难保证样品的断面呈水平方向，造成竖直射下的电子束不能垂直于样品断面所处的平面，观察圆柱形样品的断面时同样会遇到这种情况。

4)厚度不同的断面样品不易固定。固定片状样品尤其是厚度不同的样品时，因为样品的与断面垂直的侧面是靠导电胶带的粘性贴紧在样品台的竖直面上，被测样品容易在观察过程中倾斜甚至脱落。

申请号201920434354.5的专利公开了一种观察样品断口的扫描电镜用样品台，存在如下问题：①功能单一，只能放置需观察断口(面)的样品；②只能放置6个样品，数量少，工作效率低，其中第一凹槽可安放圆柱形样品，如果借用第二凹槽和第三凹槽安放圆柱形样品时，用紧固螺钉对样品进行紧固困难，容易造成样品偏离或倾斜。

申请号201720326350.6的专利公开了一种可观察样品断面的夹紧式扫描电镜用样品台，存在如下问题：①无法放置圆柱形样品；②如果不使用导电胶带，则每次只能放置两个断面样品；③如果使用导电胶带，则对多个粘附在样品台竖直面上的样品进行夹紧时，要求样品的厚度一致，使用范围窄，工作难度大。

申请号201320330613.2的专利公开了一种可夹持式断面及表面样品用扫描电镜样品台，存在如下问题：①无法放置圆柱形样品；②如果不使用导电胶带，则每次只能放置8个断面样品；③如果使用导电胶带，则对多个粘附在样品台竖直面上的样品进行夹紧时，要求样品的厚度一致，使用范围窄，工作难度大。