[实用新型]一种无压烧结碳化硅反应器

权利要求书

1.一种无压烧结碳化硅反应器，其特征在于，所述反应器包括由上到下依次连接的上盖板、第一冷热媒通道板、第一反应芯片、第二冷热媒通道板、第二反应芯片、第三冷热媒通道板和下盖板；所述上盖板顶面设有反应物入口和冷热媒入口；所述第一冷热媒通道板顶面设有第三冷热媒通道；所述冷热媒的一端与所述冷热媒入口连通；所述第一冷热媒通道板顶面设有贯穿到底面的第二反应物通孔；所述第一反应芯片顶面设有第一反应通道；所述第一反应通道一端通过第二反应物通孔与所述反应物入口连通；

所述第二冷热媒通道板顶面设有第一冷热媒通道，所述第二冷热媒通道板底面设有第二冷热媒通道；所述第一冷热媒通道一端与第三冷热媒通道连通，所述第二冷热媒通道一端与所述第一冷热媒通道连通；

所述第二反应芯片底面设有第二反应通道；所述第二反应通道一端与所述第一反应通道远离所述反应物入口的一端连通；

所述第三冷热媒通道板底面设有第四冷热媒通道；所述第四冷热媒通道一端与所述第二冷热媒通道连通；所述第四冷热媒通道顶面开有贯穿到底面的第三反应物通孔；

所述下盖板上设有反应物出口和冷热媒出口；所述反应物出口通过第三反应物通孔与所述第二反应通道远离所述第一反应通道的一端连通；所述冷热媒出口与所述第四冷热媒通道远离所述第二冷热媒通道一端连通。

2.根据权利要求1所述的一种无压烧结碳化硅反应器，其特征在于，所述第一反应芯片顶面开有贯穿到底面的第一冷热媒通孔，所述第一冷热媒通孔顶部与所述第三冷热媒通道连通，所述第一冷热媒通孔底部与所述第一冷热媒通道连通。

3.根据权利要求1所述的一种无压烧结碳化硅反应器，其特征在于，所述第二反应芯片顶面开有贯穿到底面的第二冷热媒通孔；所述第二冷热媒通孔顶部与所述第二冷热媒通道连通，所述第二冷热媒通孔底部与所述第四冷热媒通道连通。

4.根据权利要求1所述的一种无压烧结碳化硅反应器，其特征在于，所述第二冷热媒通道板顶部开有贯穿到底部的第一冷反应物通孔；所述第一冷反应物通孔底端与所述第一反应通道连通，所述第一冷反应物通孔底端与所述第二反应通道连通。

5.根据权利要求1所述的一种无压烧结碳化硅反应器，其特征在于，所述第一反应通道呈波形结构。

6.根据权利要求1所述的一种无压烧结碳化硅反应器，其特征在于，所述第二反应通道呈波形结构。

7.根据权利要求1所述的一种无压烧结碳化硅反应器，其特征在于，所述第一冷热媒通道呈波形结构。

8.根据权利要求1所述的一种无压烧结碳化硅反应器，其特征在于，所述第二冷热媒通道呈波形结构。

9.根据权利要求1所述的一种无压烧结碳化硅反应器，其特征在于，所述反应器整体呈长方体结构。

10.根据权利要求1所述的一种无压烧结碳化硅反应器，其特征在于，所述反应器整体呈椭圆柱体结构。