[实用新型]一种缩短曝光时间的直写光刻装置

权利要求书

1.一种缩短曝光时间的直写光刻装置，包括装置底座（1）、透镜面板（5）和平面齿轮（12），其特征在于：所述装置底座（1）的正上方连接有第一支撑杆（2），且第一支撑杆（2）的左右两侧设置有投影镜头（3），所述投影镜头（3）的正上方设置有波长分束器（4），所述透镜面板（5）的外侧连接有齿牙条（6），且齿牙条（6）的底部连接有调试箱体（7），所述调试箱体（7）的表面连接有旋转块（8），且调试箱体（7）的一侧设置有照明灯（9），所述照明灯（9）的外侧连接有设备外壳（10），且设备外壳（10）的外侧铰接固定有第二支撑杆（11），所述平面齿轮（12）安装在设备外壳（10）的正下方，所述调试箱体（7）的一侧焊接固定有拉手（13），且调试箱体（7）的底部连接有滑块（15），所述齿牙条（6）的背部开设有滑槽（14），所述透镜面板（5）的外侧贯穿连接有镜片（17），且透镜面板（5）的外侧连接有滚动轴承（16）。

2.根据权利要求1所述的一种缩短曝光时间的直写光刻装置，其特征在于：所述投影镜头（3）与波长分束器（4）为相互平行，且投影镜头（3）与第一支撑杆（2）构成卡合结构，并且投影镜头（3）的数量为2组。

3.根据权利要求1所述的一种缩短曝光时间的直写光刻装置，其特征在于：所述调试箱体（7）的纵截面为“T”字形结构，且调试箱体（7）与照明灯（9）为相互平行，并且照明灯（9）嵌套在设备外壳（10）内部。

4.根据权利要求1所述的一种缩短曝光时间的直写光刻装置，其特征在于：所述照明灯（9）与设备外壳（10）通过第二支撑杆（11）和平面齿轮（12）构成转动结构，且设备外壳（10）与平面齿轮（12）为啮合连接。

5.根据权利要求1所述的一种缩短曝光时间的直写光刻装置，其特征在于：所述滑块（15）与调试箱体（7）焊接为一体式结构，且调试箱体（7）与投影镜头（3）关于装置底座（1）中心线对称分布。

6.根据权利要求1所述的一种缩短曝光时间的直写光刻装置，其特征在于：所述镜片（17）与透镜面板（5）通过齿牙条（6）和调试箱体（7）构成升降结构，且调试箱体（7）与第二支撑杆（11）均设置有平面齿轮（12）。