[实用新型]一种缩短曝光时间的直写光刻装置

说明书

本实用新型公开了一种缩短曝光时间的直写光刻装置，包括装置底座、透镜面板和平面齿轮，所述装置底座的正上方连接有第一支撑杆，且第一支撑杆的左右两侧设置有投影镜头，所述投影镜头的正上方设置有波长分束器，所述透镜面板的外侧连接有齿牙条，且齿牙条的底部连接有调试箱体，所述调试箱体的表面连接有旋转块，且调试箱体的一侧设置有照明灯，所述照明灯的外侧连接有设备外壳，且设备外壳的外侧铰接固定有第二支撑杆，所述平面齿轮安装在设备外壳的正下方。该缩短曝光时间的直写光刻装置，采用齿牙条与平面齿轮，通过平面齿轮带动齿牙条进行垂直升降，便于根据装置使用需求调节投影镜头与镜片之间的距离。

技术领域

本实用新型涉及直写光刻设备技术领域，具体为一种缩短曝光时间的直写光刻装置。

背景技术

光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图，这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器，为了在晶片上制造器件，需要多个分划板，高能激光在光敏感衬底上直接产生图形，加工速度慢，单个晶片曝光时间长。

现在直写光刻装置采用离轴对焦方式，因不同的镜头存在位移误差，投影镜头转换过程，难以根据图形的表面积调节镜头与镜片之间的距离，增加不同类型图形拍摄的难度，并且拍摄过程中，难以根据照明的需求调节照明灯的角度，增加对不同角度图形拍摄的时间及难度。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种缩短曝光时间的直写光刻装置，以解决上述背景技术中提出的投影镜头转换过程，难以根据图形的表面积调节镜头与镜片之间的距离，并且拍摄过程中，难以根据照明的需求调节照明灯的角度，增加对不同角度图形拍摄的时间及难度的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案:一种缩短曝光时间的直写光刻装置，包括装置底座、透镜面板和平面齿轮，所述装置底座的正上方连接有第一支撑杆，且第一支撑杆的左右两侧设置有投影镜头，所述投影镜头的正上方设置有波长分束器，所述透镜面板的外侧连接有齿牙条，且齿牙条的底部连接有调试箱体，所述调试箱体的表面连接有旋转块，且调试箱体的一侧设置有照明灯，所述照明灯的外侧连接有设备外壳，且设备外壳的外侧铰接固定有第二支撑杆，所述平面齿轮安装在设备外壳的正下方，所述调试箱体的一侧焊接固定有拉手，且调试箱体的底部连接有滑块，所述齿牙条的背部开设有滑槽，所述透镜面板的外侧贯穿连接有镜片，且透镜面板的外侧连接有滚动轴承。

优选的，所述投影镜头与波长分束器为相互平行，且投影镜头与第一支撑杆构成卡合结构，并且投影镜头的数量为2组。

优选的，所述调试箱体的纵截面为“T”字形结构，且调试箱体与照明灯为相互平行，并且照明灯嵌套在设备外壳内部。

优选的，所述照明灯与设备外壳通过第二支撑杆和平面齿轮构成转动结构，且设备外壳与平面齿轮为啮合连接。

优选的，所述滑块与调试箱体焊接为一体式结构，且调试箱体与投影镜头关于装置底座中心线对称分布。

优选的，所述镜片与透镜面板通过齿牙条和调试箱体构成升降结构，且调试箱体与第二支撑杆均设置有平面齿轮。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：该缩短曝光时间的直写光刻装置，

1、采用齿牙条与平面齿轮，通过平面齿轮带动齿牙条进行垂直升降，便于根据装置使用需求调节投影镜头与镜片之间的距离，直接利用可调节的投影镜头来共轴投射对焦图形，方便对不同类型的图形进行记录，缩短不同类型图形记录的时间，提升装置实际使用效率；

2、采用滑块与设备外壳，通过设备外壳带动照明灯进行转动，根据照明灯的使用需求调节自身的角度，提升对晶片表面图形曝光的清晰度，并通过滑动对调试箱体的位置进行调节，提升调试箱体的位置调节及使用的便捷性。

附图说明

图1为本实用新型正视结构示意图；