[实用新型]一种等离子处理系统有效
| 申请号： | 201922136870.2 | 申请日： | 2019-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN211016999U | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 李义群 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 虞凌霄 |
| 地址： | 230001 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 处理 系统 | ||
1.一种等离子处理系统，其特征在于，所述系统包括：真空腔体，等离子发生部件，控制装置，以及与控制装置电连接的下部电极、第一匹配器、第二匹配器、第一射频电源、第二射频电源；
所述真空腔体内设置有样品座，样品座的外围设置有至少一个超声波发生装置，超声波发生装置与控制装置电连接；
所述下部电极设置在样品座处；
所述第一匹配器的一端与第一射频电源连接，第一匹配器的另一端与下部电极连接；
第二匹配器的一端与第二射频电源连接，第二匹配器的另一端与等离子发生部件连接。
2.根据权利要求1所述的等离子处理系统，其特征在于，所述等离子发生部件为上部电极或螺旋线圈。
3.根据权利要求1所述的等离子处理系统，其特征在于，还包括抽真空装置以及与抽真空装置连接的尾气处理装置。
4.根据权利要求1所述的等离子处理系统，其特征在于，所述超声波发生装置与真空腔体的连接方式为可拆卸连接。
5.根据权利要求1所述的等离子处理系统，其特征在于，超声波发生装置的输出功率为50-500W。
6.根据权利要求1所述的等离子处理系统，其特征在于，所述超声波发生装置的输出功率密度为1-200W/cm2。
7.根据权利要求1所述的等离子处理系统，其特征在于，所述超声波发生装置输出的超声波的频率控制在20-100KHz。
8.根据权利要求1所述的等离子处理系统，其特征在于，所述控制装置还连接有检测装置，所述检测装置设置在真空腔体内；
所述检测装置，用于检测真空腔体内的附着物的量。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的等离子处理系统，其特征在于，所述超声波发生装置的一端设置有控制开关，所述控制开关与控制装置连接。
10.根据权利要求9所述的等离子处理系统，其特征在于，还包括时钟电路单元，所述时钟电路单元的一端与控制装置连接，时钟电路单元的另一端与控制开关连接。
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