[实用新型]一种实时保持混酸浓度恒定的装置

权利要求书

1.一种实时保持混酸浓度恒定的装置，其特征在于：包括槽体（4）、滚轮和硅片（1），滚轮安装在槽体（4）中，硅片下表面与滚轮接触，该实时保持混酸浓度恒定的系统还包括安装在槽体（4）底部的搅拌器（2）、安装在槽体（4）处于滚轮下部的带孔网板（3）、与槽体（4）底部通过混合液阀门（6）管道联通的活塞体容腔（5）、安装在活塞体容腔（5）中的活塞和液压装置（7）、与活塞体容腔（5）通过刻蚀阀门管道联通的刻蚀液、安装在槽体（4）用于测量刻蚀液离子浓度的测量装置、PLC，混合液阀门（6）、测量刻蚀液离子浓度的测量装置、刻蚀阀门、活塞和液压装置（7）电信号连接PLC。

2.根据权利要求1所述的一种实时保持混酸浓度恒定的装置，其特征在于：搅拌器（2）由电机和安装在电机输出轴上的搅拌叶片构成。

3.根据权利要求1所述的一种实时保持混酸浓度恒定的装置，其特征在于：带孔网板（3）为一块塑料材质的平板，其完整覆盖槽体（4）的一个横截面，平板上有对个孔径为1-5mm的小孔，四周通过螺栓连接或者沟槽连接固定在槽体（4）中，其距离滚轮的高度为5-10mm。

4.根据权利要求1所述的一种实时保持混酸浓度恒定的装置，其特征在于：活塞体容腔（5）为一个圆筒，其上部开口连接有活塞和液压装置（7），圆筒侧壁上有开口，该开口通过刻蚀阀门管道连接刻蚀液储料仓中的刻蚀液。

5.根据权利要求1所述的一种实时保持混酸浓度恒定的装置，其特征在于：活塞和液压装置（7）为在液压装置的伸缩臂上安装活塞，液压装置为现有技术中常用的液压装置，其电信号连接PLC。