[实用新型]一种实时保持混酸浓度恒定的装置

说明书

本实用新型涉及太阳能电池硅片生产领域，一种实时保持混酸浓度恒定的装置，包括槽体4、滚轮和硅片1，滚轮安装在槽体4中，硅片下表面与滚轮接触，该实时保持混酸浓度恒定的系统还包括安装在槽体4底部的搅拌器2、安装在槽体4处于滚轮下部的带孔网板3、与槽体4底部通过混合液阀门6管道联通的活塞体容腔5、安装在活塞体容腔5中的活塞和液压装置7、与活塞体容腔5通过刻蚀阀门管道联通的刻蚀液、安装在槽体4用于测量刻蚀液离子浓度的测量装置、PLC，混合液阀门6、测量刻蚀液离子浓度的测量装置、刻蚀阀门、活塞和液压装置7电信号连接PLC。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池硅片生产领域，特别涉及扩散制结后清除表面的磷硅玻璃过程中的混酸补充领域。

背景技术

在光伏电池中湿法工艺总作用可分为两个方面：一是有效的减少太阳光在硅片表面的反射损失，提高太阳能转换效率的一个重要的方法结构表面织构化，在太阳能电池表面形成绒面不仅可以降低表面的反射率，而且还可以在电池的内部形成光陷阱，从而显著的提高电池的转换效率；二是由于阳能电池片生产制造过程中的扩散过程中，采用背靠背扩散，硅片的所有表面包括边缘都将不可避免地扩散上磷。PN结的正面所收集到的光生电子会沿着边缘扩散有磷的区域流到PN结的背面，而造成短路，这就需要在扩散制结后清除表面的磷硅玻璃。在这两个作用中都要用到化学品，而所有的湿法工艺用的化学品在使用时，都有一个消耗的过程。因此，这就需要外界进行不断的补充的过程，否则反应不充分就会出现过程不良片。通常来说，化学品补充即为补液，补液次数与补液时间的值是个经验值，且需要操作员，通过测刻蚀量来进行不断修正，相对具有一定的滞后性。况且自动补液一般不改，加上不能根据不能针对片子的尺寸，片间距，每道的片数来做调整， 所以槽体浓度不能做到实时修正，仍然造成不良片。这就需要操作员不断手动测片，了解当前槽体刻蚀情况即浓度，并进行跟踪补液。这样的重复性的工作，不仅工作量大，经验性强，可靠性差，而且过刻和欠刻现象时有发生，这将势必影响刻蚀质量。

因此，人们迫切需要一种在线自动检控刻蚀浓度的装置，将刻蚀浓度控制在目标范围之内，从而保证刻蚀的有效性与稳定性。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是：如何克服了传统湿法补液存在滞后性，工作量大，重复性高等缺陷的问题。

本发明所采用的技术方案是：一种实时保持混酸浓度恒定的装置，包括槽体（4）、滚轮和硅片（1），滚轮安装在槽体（4）中，硅片下表面与滚轮接触，该实时保持混酸浓度恒定的系统还包括安装在槽体（4）底部的搅拌器（2）、安装在槽体（4）处于滚轮下部的带孔网板（3）、与槽体（4）底部通过混合液阀门（6）管道联通的活塞体容腔（5）、安装在活塞体容腔（5）中的活塞和液压装置（7）、与活塞体容腔（5）通过刻蚀阀门管道联通的刻蚀液、安装在槽体（4）用于测量刻蚀液离子浓度的测量装置、PLC，混合液阀门（6）、测量刻蚀液离子浓度的测量装置、刻蚀阀门、活塞和液压装置（7）电信号连接PLC。

搅拌器（2）由电机和安装在电机输出轴上的搅拌叶片构成。现有技术中已经广泛存在本专利不对搅拌器多做说明。

带孔网板（3）为一块塑料材质的平板，其完整覆盖槽体（4）的一个横截面，平板上有对个孔径为1-5mm的小孔，四周通过螺栓连接或者沟槽连接固定在槽体（4）中，其距离滚轮的高度为5-10mm。

活塞体容腔（5）为一个圆筒，其上部开口连接有活塞和液压装置（7），圆筒侧壁上有开口，该开口通过刻蚀阀门管道连接刻蚀液储料仓中的刻蚀液。

活塞和液压装置（7）为在液压装置的伸缩臂上安装活塞，液压装置为现有技术中常用的液压装置，其电信号连接PLC。

混合液阀门（6）为常用普通液体阀门，其由塑料材料制备。

刻蚀阀门与刻蚀液种类一一对应，刻蚀阀门为带流量计的电磁阀阀门，可以看成是由一个普通电磁阀阀门和一个流量计串联而成。当刻蚀液为硝酸和氢氟酸时，硝酸对应一个刻蚀阀门，氢氟酸对应一个刻蚀阀门。