[实用新型]晶圆承载装置

权利要求书

1.一种晶圆承载装置，设置在反应腔室中，所述反应腔室内设置有主轨道及辅助轨道，所述辅助轨道设置在所述主轨道下方，其特征在于，所述晶圆承载装置包括：

主载台，可滑动地设置在所述主轨道上，所述主载台能够沿一个或多个方向运动；

辅助载台，设置在所述主载台下方，且所述辅助载台可滑动地设置在所述辅助轨道上，所述辅助载台能够沿一个或多个方向运动，所述辅助载台的运动方向与所述主载台的运动方向相反；

控制器，用于检测所述主载台的运动方向，并根据所述主载台的运动方向控制所述辅助载台的运动方向；

承载台，用于承载晶圆，所述承载台设置在所述主载台上，且与所述主载台可转动连接，当所述承载台旋转而带动所述主载台运动时，所述辅助载台与所述主载台做同步反向运动，以调平所述反应腔室。

2.根据权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述主轨道与所述辅助轨道平行。

3.根据权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述主轨道及所述辅助轨道均由两条并行设置的轨道组成。

4.根据权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述主载台与所述承载台共同具有第一中心，所述辅助载台具有第二中心，所述第一中心与所述第二中心在同一直线上。

5.根据权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述辅助载台的运动行程与所述主载台的运动行程相同。

6.根据权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述辅助载台的运动速率与所述主载台的运动速率相同。

7.根据权利要求1所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述主载台重量与所述承载台重量之和与所述辅助载台的重量相等。

8.根据权利要求1～7任意一项所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述主载台包括：

第一滑动块，设置在所述主轨道上，且能够沿所述主轨道向第一方向运动，所述第一滑动块的顶面具有第一滑动轨道，所述第一滑动轨道的延伸方向与所述主轨道的延伸方向不同；

第二滑动块，设置在所述第一滑动轨道上，且能够沿所述第一滑动轨道向第二方向运动，所述第一方向与所述第二方向不同，所述承载台可转动地设置在所述第二滑动块上。

9.根据权利要求8所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一方向与所述第二方向垂直。

10.根据权利要求8所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一滑动块底面具有第一滑槽，所述第一滑槽与所述主轨道配合，以使所述第一滑动块能够沿所述主轨道向所述第一方向运动。

11.根据权利要求8所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第二滑动块底面具有第二滑槽，所述第二滑槽与所述第一滑动轨道配合，以使所述第二滑动块能够沿所述第一滑动轨道向第二方向运动。

12.根据权利要求8所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述辅助载台包括：

第三滑动块，设置在所述辅助轨道上，且能够沿所述辅助轨道向所述第一方向或第二方向运动，所述第三滑动块的顶面具有第二滑动轨道，所述第二滑动轨道的延伸方向与所述辅助轨道的延伸方向不同；

第四滑动块，设置在所述第二滑动轨道上，且能够沿所述第二滑动轨道向所述第二方向或所述第一方向运动。

13.根据权利要求12所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第三滑动块底面具有第三滑槽，所述第三滑槽与所述辅助轨道配合，以使所述第三滑动块能够沿所述辅助轨道向所述第一方向或第二方向运动。

14.根据权利要求12所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第四滑动块底面具有第四滑槽，所述第四滑槽与所述第二滑动轨道配合，以使所述第四滑动块能够沿所述第二滑动轨道向所述第二方向或所述第一方向运动。

15.根据权利要求12所述的晶圆承载装置，其特征在于，所述第一滑动块与所述第三滑动块的重量相同，所述第二滑动块的重量与所述承载台的重量之和与所述第三滑动块的重量相同。