[实用新型]半导体电流测试装置

权利要求书

1.一种半导体电流测试装置，其特征在于：包括机板(1)，所述机板(1)上设置有输送流道(2)，所述输送流道(2)上沿输料方向依次设置有送料区域、测试区域以及缓冲区域，所述送料区域处设置有送料机构(3)，所述送料机构(3)用于将待测的产品(7)依次送至测试区域中以备测试，所述测试区域处设置有电流测试机构(5)和参数测试机构(6)，所述电流测试机构(5)和参数测试机构(6)分别用于对进入测试区域内待测的产品(7)进行电流测试和参数测试，所述缓冲区域处设置有缓冲机构(4)，所述缓冲机构(4)用于将已测的产品(7)依次送至下一道工序中。

2.根据权利要求1所述的一种半导体电流测试装置，其特征在于：所述送料机构(3)包括设置于机板(1)底面的送料机构气缸(301)，所述送料机构气缸(301)的伸缩端设置有送料机构升降板(302)，所述送料机构升降板(302)上向上设置有送料机构挡料柱(304)，所述送料机构挡料柱(304)位于输送流道(2)的正下方，所述送料机构挡料柱(304)的顶端向上延伸且穿过输送流道(2)，所述送料机构升降板(302)上还设置有送料机构支撑板(303)，所述送料机构支撑板(303)的顶部设置有送料机构连接板(305)，所述送料机构连接板(305)上向下设置有送料机构压紧柱(306)，所述送料机构压紧柱(306)位于输送流道(2)的正上方，且送料机构压紧柱(306)位于送料机构挡料柱(304)的后方。

3.根据权利要求1所述的一种半导体电流测试装置，其特征在于：所述电流测试机构(5)包括垂直穿插于机板(1)上的电流测试机构支撑板(501)，所述电流测试机构支撑板(501)上设置有上夹持组件(502)和下夹持组件(503)，所述上夹持组件(502)包括伸缩端向下的上夹持组件气缸(502.1)，所述上夹持组件气缸(502.1)的下方设置有竖向布置的上夹持组件导轨(502.3)，所述上夹持组件导轨(502.3)设置于电流测试机构支撑板(501)上，所述上夹持组件导轨(502.3)上设置有上夹持组件滑块(502.4)，所述上夹持组件滑块(502.4)上设置有上夹持组件移动座(502.5)，所述上夹持组件移动座(502.5)上设置有上夹持组件支撑块(502.6)，所述上夹持组件支撑块(502.6)的下方设置有上夹持组件固定块(502.7)，所述上夹持组件固定块(502.7)与上夹持组件支撑块(502.6)之间设置有多个上夹持组件缓冲柱(502.8)，所述上夹持组件固定块(502.7)上设置有上夹持组件感应夹具(502.10)；

所述下夹持组件(503)和上夹持组件(502)上下对称布置。

4.根据权利要求3所述的一种半导体电流测试装置，其特征在于：所述上夹持组件缓冲柱(502.8)上套设有上夹持组件缓冲弹簧(502.9)。

5.根据权利要求3所述的一种半导体电流测试装置，其特征在于：所述上夹持组件感应夹具(502.10)的下段设置有电流测试机构限位件(504)。

6.根据权利要求1所述的一种半导体电流测试装置，其特征在于：所述参数测试机构(6)沿输送流道(2)的输料方向依次包括第一缓冲组件(601)、定位组件(602)、第二缓冲组件(603)，所述定位组件(602)的上方设置有参数测试组件(604)，所述参数测试组件(604)包括参数测试组件气缸(604.1)，所述参数测试组件气缸(604.1)的伸缩端设置有参数测试组件推板(604.3)，所述参数测试组件推板(604.3)上设置有参数测试组件推块(604.4)，所述参数测试组件推板(604.3)的下方设置有参数测试组件固定座(604.5)，所述参数测试组件固定座(604.5)上设置有参数测试组件连接块(604.6)，所述参数测试组件连接块(604.6)上设置有参数测试组件卡块(604.7)，所述参数测试组件卡块(604.7)上卡接有参数测试组件感应件(604.8)，所述参数测试组件推块(604.4)位于参数测试组件感应件(604.8)的外侧。