[实用新型]一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器有效

专利信息
申请号: 201922156071.1 申请日: 2019-12-02
公开(公告)号: CN211478675U 公开(公告)日: 2020-09-11
发明(设计)人: 贾志强;杨斌;杨理玲 申请(专利权)人: 安瑞创新半导体(深圳)有限公司
主分类号: G01V8/10 分类号: G01V8/10;H01L25/04;H01L31/0203
代理公司: 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 代理人: 张铁兰
地址: 518051 广东省深圳市南山区粤海街道高新*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 紫外 红外 探测 光电 探测器
【权利要求书】:

1.一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,包括紫外光探测结构(1)、红外光探测结构(2)和屏蔽结构(3),其特征在于,屏蔽结构(3)的下部设置有紫外光探测结构(1),屏蔽结构(3)的上部内侧设置有红外光探测结构(2),且屏蔽结构(3)上端位于红外光探测结构(2)的上方设置有光线吸收层(4),所述光线吸收层(4)具体为一圆盘结构,且光线吸收层(4)的外侧边缘位置设置为圆弧面(41);

所述屏蔽结构(3)为一圆柱形结构,且圆柱形结构内部为中空结构,屏蔽结构(3)与紫外光探测结构(1)、红外光探测结构(2)组成屏蔽腔(6),且屏蔽腔(6)的顶部设置有反射弧面(7);

所述红外光探测结构(2)包括衬底层二(21),衬底层二(21)的底部连接反射弧面(7),衬底层二(21)上端设有红外光缓冲层(22),红外光缓冲层(22)上端设有红外光吸收层(23),红外光吸收层(23)上方设置为光线吸收层(4),红外光缓冲层(22)的左侧安装有金属电极二(27),且红外光缓冲层(22)和紫外光缓冲层(12)的右侧通过公共金属电极(5)连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,其特征在于,所述反射弧面(7)的底面为镜面,且反射弧面(7)采用屏蔽材料制成。

3.根据权利要求1所述的一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,其特征在于,所述红外光吸收层(23)上开设有若干个通孔一(24),若干个通孔一(24)在红外光吸收层(23)上均匀分布。

4.根据权利要求1所述的一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,其特征在于,所述红外光缓冲层(22)和衬底层二(21)上对应通孔一(24)的位置分别开设有通孔二(25)和通孔三(26),通孔一(24)、通孔二(25)和通孔三(26)的形状包括但不限于采用圆形。

5.根据权利要求4所述的一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,其特征在于,所述通孔一(24)、通孔二(25)和通孔三(26)组成若干个通道,若干个通道均与屏蔽腔(6)连通。

6.根据权利要求1所述的一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,其特征在于,所述紫外光探测结构(1)包括衬底层一(11),衬底层一(11)上端设有紫外光缓冲层(12),紫外光缓冲层(12)上端设有紫外光吸收层(13),且紫外光缓冲层(12)的左侧安装有金属电极一(14)。

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