[实用新型]一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器有效
申请号: | 201922156071.1 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN211478675U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 贾志强;杨斌;杨理玲 | 申请(专利权)人: | 安瑞创新半导体(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01V8/10 | 分类号: | G01V8/10;H01L25/04;H01L31/0203 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 张铁兰 |
地址: | 518051 广东省深圳市南山区粤海街道高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 紫外 红外 探测 光电 探测器 | ||
1.一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,包括紫外光探测结构(1)、红外光探测结构(2)和屏蔽结构(3),其特征在于,屏蔽结构(3)的下部设置有紫外光探测结构(1),屏蔽结构(3)的上部内侧设置有红外光探测结构(2),且屏蔽结构(3)上端位于红外光探测结构(2)的上方设置有光线吸收层(4),所述光线吸收层(4)具体为一圆盘结构,且光线吸收层(4)的外侧边缘位置设置为圆弧面(41);
所述屏蔽结构(3)为一圆柱形结构,且圆柱形结构内部为中空结构,屏蔽结构(3)与紫外光探测结构(1)、红外光探测结构(2)组成屏蔽腔(6),且屏蔽腔(6)的顶部设置有反射弧面(7);
所述红外光探测结构(2)包括衬底层二(21),衬底层二(21)的底部连接反射弧面(7),衬底层二(21)上端设有红外光缓冲层(22),红外光缓冲层(22)上端设有红外光吸收层(23),红外光吸收层(23)上方设置为光线吸收层(4),红外光缓冲层(22)的左侧安装有金属电极二(27),且红外光缓冲层(22)和紫外光缓冲层(12)的右侧通过公共金属电极(5)连接。
2.根据权利要求1所述的一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,其特征在于,所述反射弧面(7)的底面为镜面,且反射弧面(7)采用屏蔽材料制成。
3.根据权利要求1所述的一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,其特征在于,所述红外光吸收层(23)上开设有若干个通孔一(24),若干个通孔一(24)在红外光吸收层(23)上均匀分布。
4.根据权利要求1所述的一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,其特征在于,所述红外光缓冲层(22)和衬底层二(21)上对应通孔一(24)的位置分别开设有通孔二(25)和通孔三(26),通孔一(24)、通孔二(25)和通孔三(26)的形状包括但不限于采用圆形。
5.根据权利要求4所述的一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,其特征在于,所述通孔一(24)、通孔二(25)和通孔三(26)组成若干个通道,若干个通道均与屏蔽腔(6)连通。
6.根据权利要求1所述的一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,其特征在于,所述紫外光探测结构(1)包括衬底层一(11),衬底层一(11)上端设有紫外光缓冲层(12),紫外光缓冲层(12)上端设有紫外光吸收层(13),且紫外光缓冲层(12)的左侧安装有金属电极一(14)。
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