[实用新型]一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器有效
申请号: | 201922156071.1 | 申请日: | 2019-12-02 |
公开(公告)号: | CN211478675U | 公开(公告)日: | 2020-09-11 |
发明(设计)人: | 贾志强;杨斌;杨理玲 | 申请(专利权)人: | 安瑞创新半导体(深圳)有限公司 |
主分类号: | G01V8/10 | 分类号: | G01V8/10;H01L25/04;H01L31/0203 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 张铁兰 |
地址: | 518051 广东省深圳市南山区粤海街道高新*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 紫外 红外 探测 光电 探测器 | ||
本实用新型公开了一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,包括紫外光探测结构、红外光探测结构和屏蔽结构,屏蔽结构为一圆柱形结构,且圆柱形结构内部为中空结构,屏蔽结构与紫外光探测结构、红外光探测结构组成屏蔽腔,且屏蔽腔的顶部设置有反射弧面。本实用新型的紫外光电探测器通过设置紫外光缓冲层、紫外光吸收层、红外光缓冲层和红外光吸收层,可同时吸收紫外光线和红外光线,多个通孔一、通孔二、通孔三的设置使光线可最大程度的进入到紫外光线探测结构中,同时光线吸收层、屏蔽结构以及反射弧面均增加了探测器对光线的探测能力,提升探测效果,使其更加准确。
技术领域
本实用新型涉及一种光电探测器,具体是一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器。
背景技术
光电探测器能把光信号转换为电信号。根据器件对辐射响应的方式不同或者说器件工作的机理不同,光电探测器可分为两大类:一类是光子探测器;另一类是热探测器。光电探测器在军事和国民经济的各个领域有广泛用途。在可见光或近红外波段主要用于射线测量和探测、工业自动控制、光度计量等;在红外波段主要用于导弹制导、红外热成像、红外遥感等方面。光电导体的另一应用是用它做摄像管靶面。为了避免光生载流子扩散引起图像模糊,连续薄膜靶面都用高阻多晶材料,如PbS-PbO、Sb2S3等。其他材料可采取镶嵌靶面的方法,整个靶面由约10万个单独探测器组成。
光电探测器可单独探测紫外光或者红外光,目前也有两种光线均可探测的装置,但其探测效果并不理想。因此,本领域技术人员提供了一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,以解决上述背景技术中提出的问题。
发明内容
本实用新型的目的在于提供一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
一种用于紫外红外双色探测的紫外光电探测器,包括紫外光探测结构、红外光探测结构和屏蔽结构,屏蔽结构屏蔽内部红外或紫外光线反射出去,紫外光探测结构和红外光探测结构分别吸收检测紫外光线和红外光线,屏蔽结构的下部设置有紫外光探测结构,屏蔽结构的上部内侧设置有红外光探测结构,且屏蔽结构上端位于红外光探测结构的上方设置有光线吸收层,光线吸收层具体为一圆盘结构,且光线吸收层的外侧边缘位置设置为圆弧面,圆弧面可增加光线的反射角度,使光线更好的进入光线吸收层内;
屏蔽结构为一圆柱形结构,且圆柱形结构内部为中空结构,屏蔽结构与紫外光探测结构、红外光探测结构组成屏蔽腔,屏蔽腔用于反射光线中的紫外光线使其进入到紫外光探测结构中,且屏蔽腔的顶部设置有反射弧面,反射弧面的底面为镜面,且反射弧面采用屏蔽材料制成,增大紫外光线的反射。
作为本实用新型进一步的方案,紫外光探测结构包括衬底层一,衬底层一上端设有紫外光缓冲层,紫外光缓冲层上端设有紫外光吸收层,且紫外光缓冲层的左侧安装有金属电极一。
作为本实用新型再进一步的方案,红外光探测结构包括衬底层二,衬底层二的底部连接反射弧面,衬底层二上端设有红外光缓冲层,红外光缓冲层上端设有红外光吸收层,红外光吸收层上方设置为光线吸收层,红外光缓冲层的左侧安装有金属电极二,且红外光缓冲层和紫外光缓冲层的右侧通过公共金属电极连接。
作为本实用新型再进一步的方案,红外光吸收层上开设有若干个通孔一,若干个通孔一在红外光吸收层上均匀分布,且红外光缓冲层和衬底层二上对应通孔一的位置分别开设有通孔二和通孔三,通孔一、通孔二和通孔三的形状包括但不限于采用圆形,通孔一、通孔二和通孔三组成若干个通道,若干个通道均与屏蔽腔连通,用于将紫外光线传输至屏蔽腔内,从而被紫外光吸收层吸收。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
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