[实用新型]晶片除尘工装有效
申请号: | 201922158733.9 | 申请日: | 2019-12-05 |
公开(公告)号: | CN210722964U | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 徐兴华;陈康;鲍旭伟;唐多 | 申请(专利权)人: | 金华市创捷电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 321000 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 除尘 工装 | ||
本实用新型公开了晶片除尘工装,包括底座和盖板,所述底座和所述盖板由钢丝绳交织而成,所述底座上设置有若干凹槽,所述凹槽内设置有所述晶片,所述凹槽内设置有第一弹力网,所述第一弹力网的四周与所述凹槽的侧壁相连,盖板上设置有向着所述凹槽伸入的凸起,所述凸起的端部设置有第二弹力网,所述晶片被夹紧设置在所述第一弹力网和所述第二弹力网之间。我们吸风时,晶片会随着第一弹力网和第二弹力网一起上下晃动,由于第一弹力网和第二弹力网的作用,晶片不会碰到底座或者盖板,大大减小了晶片磕碰损坏的几率。
技术领域
本实用新型涉及一种除尘机构,更具体的涉及一种用于晶片的除尘工装。
背景技术
晶片在被银之后,还要进行一次除尘,原来除尘都是通过原来的被银夹具上进行。除尘过程是,利用设备发出超声波,与晶片产生共振,从而将晶片表面的灰尘振落。
这种方法,抖落的灰尘会飘散在空气中,很多情况下,还是会落到晶片上,本申请人的另一个发明中,我们公开了一种晶片除尘装置,包括本体,所述本体内设置有工作台,所述工作台上设置有工装,所述工装内设置有晶片除尘夹具,所述晶片除尘夹具包括底座和盖板,所述底座和所述盖板上设置有通孔,且所述通孔的大小要满足被除尘的晶片无法穿过所述通孔,所述底座上设置有若干凹槽,所述凹槽内设置有所述晶片,所述盖板罩在所述底座上,所述工作台上位于所述工装的底部设置有吸尘管,所述吸尘管与吸尘器的进气口相连。使用时,晶片被限定在凹槽和盖板组成的空间内,然后晶片振动抖落的灰尘从凹槽内的通孔掉落。然后吸尘装置通过管道将抖落的灰尘抽走,避免抖落的灰尘再次落到晶片上。
但是这种晶片除尘装置,在吸尘装置工作的时候,晶片会与底座和盖板不断碰撞摩擦,导致晶片表面受损,因此有必要改进。
发明内容
针对现有技术的不足,本实用新型提供一种晶片除尘装置,能够有效去除晶片上的灰尘,且不会损坏晶片。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:晶片除尘工装,包括底座和盖板,所述底座和所述盖板由钢丝绳交织而成,所述底座上设置有若干凹槽,所述凹槽内设置有所述晶片,所述凹槽内设置有第一弹力网,所述第一弹力网的四周与所述凹槽的侧壁相连,盖板上设置有向着所述凹槽伸入的凸起,所述凸起的端部设置有第二弹力网,所述晶片被夹紧设置在所述第一弹力网和所述第二弹力网之间。我们吸风时,晶片会随着第一弹力网和第二弹力网一起上下晃动,由于第一弹力网和第二弹力网的作用,晶片不会碰到底座或者盖板,大大减小了晶片磕碰损坏的几率。
上述技术方案中,优选的,每个所述凹槽内设置有一个晶片。每个凹槽内一个晶片,避免了晶片之间的相互碰撞。
上述技术方案中,优选的,所述底座和所述盖板上的网格大小满足,晶片无法从网格中穿过。
上述技术方案中,优选的,所述网格为正方形。
本实用新型的有益效果是:我们吸风时,晶片会随着第一弹力网和第二弹力网一起上下晃动,由于第一弹力网和第二弹力网的作用,晶片不会碰到底座或者盖板,大大减小了晶片磕碰损坏的几率。
附图说明
图1是本实用新型的示意图(局部)。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细描述:
图1中为了防止过密的线条导致图片杂乱,我们对图片上的线条做了简化,底座和盖板实际为网格状,但在途中我们都用板状表示.
参见图1,晶片除尘工装,包括底座1和盖板2,所述底座1和所述盖板2由钢丝绳交织而成,所述底座1和所述盖板2上的网格大小满足,晶片无法从网格中穿过。所述网格为正方形。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造