[实用新型]一种曝光机

权利要求书

1.一种曝光机，其包括运动平台、对位机构和曝光机构，所述对位机构和曝光机构置于所述运动平台的上方，所述运动平台包括运动机构和基板台面，其特征在于：所述基板台面设置有至少一可拆卸的中间标尺。

2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述中间标尺垂直设置或水平设置或既垂直设置又水平设置。

3.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述中间标尺通过磁铁固定于所述基板台面。

4.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述中间标尺通过卡扣的机械结构固定于所述基板台面。

5.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述曝光机构固定设置，覆盖基板台面的全部区域。

6.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述基板台面与所述运动机构之间设置有支撑板。

7.根据权利要求6所述的曝光机，其特征在于：所述支撑板位于所述基板台面的中心位置。

8.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：所述对位机构包括设置于两侧滑动设置的对位相机和位于中间的对位相机，所述中间的对位相机可同时抓取相邻基板的内层对位标记。

9.根据权利要求8所述的曝光机，其特征在于：所述中间的对位相机固定设置或滑动设置。

10.根据权利要求8所述的曝光机，其特征在于：所述中间的对位相机包括依次连接的相机、镜头和光源，所述相机和所述镜头的数量为两个，一组镜头和相机连接构成第一对准件，另一组镜头和相机连接构成第二对准件，第一对准件和第二对准件并列排列，并彼此相接或者具有微小间隙，所述光源邻接所述第一对准件和所述第二对准件的镜头，覆盖所述第一对准件和所述第二对准件镜头的轮廓范围。