[实用新型]一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置

权利要求书

1.一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置，包括采集罐、通过进气管与采集罐连通的且用于采集样气的采集组件，所述采集罐上开设有顶部进风口和检修口；其特征在于：所述采集罐内设置有用于提高进气速度的轴流风机组件；所述轴流风机组件包括安装在采集罐上的电源、两个轴流风机单元、用于安装轴流风机单元的安装架以及调整轴流风机单元的位置的正反转电机；各安装架可拆卸安装有若干具有容纳空间的安装筒；所述安装筒的顶部开设有开口；各轴流风机单元沿安装筒顶部的开口可拆卸安装在安装筒内腔侧壁上；所述正反转电机固定安装在采集罐顶部，且其电机轴输出端朝下穿过采集罐的顶板与安装架固定连接；各轴流风机单元和正反转电机均与电源电连接；所述正反转电机上安装有控制器。

2.根据权利要求1所述的一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置，其特征在于：所述进风口上安装有截止阀，所述采集罐的侧壁上安装有加热板，该加热板与电源电连接。

3.根据权利要求1所述的一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置，其特征在于：所述轴流风机单元包括若干连接架以及纵向等间距安装连接架上的轴流风机；且各轴流风机之间的电路相互并联。

4.根据权利要求1所述的一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置，其特征在于：所述采集罐的检修口上铰接有盖板，该盖板上开设有贯通的安装槽，所述安装槽内安装有透明的挡风玻璃。

5.根据权利要求1所述的一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置，其特征在于：所述采集罐上安装有温度传感器和报警器。