[实用新型]一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置有效

专利信息
申请号: 201922164905.3 申请日: 2019-12-06
公开(公告)号: CN211553463U 公开(公告)日: 2020-09-22
发明(设计)人: 于青玉;杨利;姜瓘涛 申请(专利权)人: 浙江西亚特电子材料有限公司
主分类号: G01N1/24 分类号: G01N1/24;G01K1/02
代理公司: 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 代理人: 高永志
地址: 324000 浙江省衢州市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 分析 硅烷 其他 采样 处理 装置
【说明书】:

实用新型涉及化学气体的采样设备技术领域,尤其是涉及一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置。本实用新型的技术方案是这样实现的:一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置,包括采集罐、通过进气管与采集罐连通的且用于采集样气的采集组件,所述采集罐上开设有顶部进风口和检修口;其特征在于:所述采集罐内设置有用于提高进气速度的轴流风机组件;所述轴流风机组件包括安装在采集罐上的电源、两个轴流风机单元、用于安装轴流风机单元的安装架以及调整轴流风机单元的位置的正反转电机;各安装架可拆卸安装有若干具有容纳空间的安装筒;所述正反转电机上安装有控制器;本实用新型实用性强,易于推广。

技术领域

本实用新型涉及化学气体的采样设备技术领域,尤其是涉及一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置。

背景技术

现阶段三氯硅烷气体采样处理的过程中,通常是使用吸气泵进行吸气处理;由于三氯硅烷带有一定的腐蚀性,泵与三氯硅烷气体接触的部位会被腐蚀,导致吸气泵容易出现漏气的现象;因此需要一段使用寿命更长的采样装置,且传荣的采集方式是采用负压式采集,采集效率较低。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样装置。

本实用新型的技术方案是这样实现的:一种分析三氯硅烷中其他氯硅烷的采样处理装置,包括采集罐、通过进气管与采集罐连通的且用于采集样气的采集组件,所述采集罐上开设有顶部进风口和检修口;其特征在于:所述采集罐内设置有用于提高进气速度的轴流风机组件;所述轴流风机组件包括安装在采集罐上的电源、两个轴流风机单元、用于安装轴流风机单元的安装架以及调整轴流风机单元的位置的正反转电机;各安装架可拆卸安装有若干具有容纳空间的安装筒;所述安装筒的顶部开设有开口;各轴流风机单元沿安装筒顶部的开口可拆卸安装在安装筒内腔侧壁上;所述正反转电机固定安装在采集罐顶部,且其电机轴输出端朝下穿过采集罐的顶板与安装架固定连接;各轴流风机单元和正反转电机均与电源电连接;所述正反转电机上安装有控制器。

优选为:所述进风口上安装有截止阀,所述采集罐的侧壁上安装有加热板,该加热板与电源电连接。

优选为:所述轴流风机单元包括若干连接架以及纵向等间距安装连接架上的轴流风机;且各轴流风机之间的电路相互并联。

优选为:所述采集罐的检修口上铰接有盖板,该盖板上开设有贯通的安装槽,所述安装槽内安装有透明的挡风玻璃。

优选为:所述采集罐上安装有温度传感器和报警器。

与现有技术相比较,本实用新型带来的有益效果为:通过将传统的抽气泵,改进为,轴流风机组件,轴流风机组件中的轴流风机单元可以通过正反转电机调整到进风口下方;轴流风机单元中的轴流风机运行,在采集罐内部形成负载,外界所需采集的气体,会在大气压的作用下,压进采集罐内,并且可定期通过正反转电机带动安装架,将两个轴流风机单元的位置对调,将未使用的放置到使用的位置上,使用一段时间的可以转动到检修口下方,然后工作人员可沿着检修口将轴流风机单元拆卸下来进行清洗和维护,以此方式加快进气效率,且可以对装置进行维护维修,确保使用寿命。

需要说明的是:当一组轴流风机单元位于进风口下方在工作时,另一组轴流风机单元停止工作并且恰好位于检修口的正下方;

1、在进风口上安装有截止阀,所述采集罐的侧壁上安装有加热板,该加热板与电源电连,加热板可以将采集罐的内腔进行加热,以至于内腔的负载下降,外界需要采集的气体可以更块的进入采集罐内部;

2、所述轴流风机单元包括若干连接架以及纵向等间距安装连接架上的轴流风机;且各轴流风机之间的电路相互并联,轴流风机可以单独使用,当其中一个轴流风机出现故障时,另外的轴流风机可以继续使用,不会影响采集供工作的正常进行;

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