[实用新型]一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置有效
申请号: | 201922164967.4 | 申请日: | 2019-12-06 |
公开(公告)号: | CN211179169U | 公开(公告)日: | 2020-08-04 |
发明(设计)人: | 于青玉;杨利;党春梅 | 申请(专利权)人: | 浙江西亚特电子材料有限公司 |
主分类号: | G01N1/22 | 分类号: | G01N1/22 |
代理公司: | 衢州维创维邦专利代理事务所(普通合伙) 33282 | 代理人: | 刘奇 |
地址: | 324000 浙江省衢州市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 分析 硅烷 组分 采样 装置 | ||
1.一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置,其特征在于:包括分离装置、收集装置和样品容器,所述分离装置包括热交换器和第一容器,所述第一容器的上端面开设有第一进气口和第一出气口,所述第一进气口固定连接有第一球阀,所述第一出气口固定连接有第二球阀,所述第二球阀远离第一出气口的一端与样品容器的输入端连通,所述热交换器的热媒出口与第一球阀远离第一进气口的一端连通,所述第一容器的侧壁上开设有第一进液口和第一出液口,所述第一进液口固定连接有第三球阀,所述第一出液口固定连接有第四球阀;所述收集装置包括第二容器,所述第二容器的上端面开设有第二出气口,所述第二出气口固定连接有第五球阀,所述第二容器的侧壁开设有第二进液口,所述第二进液口与第四球阀远离第一出液口的一端连通,所述第五球阀远离第二出气口的一端与大气连通。
2.根据权利要求1所述的一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置,其特征在于:所述第一进液口位于第一容器侧壁靠近第一容器上端面的一侧,所述第一出液口位于第一容器侧壁靠近第一容器下端面的一侧,所述第二进液口与第一出液口位置对应。
3.根据权利要求1所述的一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置,其特征在于:所述第一容器和第二容器的外壁固定连接有保温层。
4.根据权利要求1所述的一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置,其特征在于:所述第一容器的下端面开设有第一清洗口,所述第一清洗口固定连接有第六球阀,所述第二容器的下端面开设有第二清洗口,所述第二清洗口固定连接有第七球阀。
5.根据权利要求1所述的一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置,其特征在于:还包括支架,所述第一容器的下端面与支架的上端面固定连接,所述第二容器的下端面与支架的上端面固定连接,所述支架的上端面开设有与第六球阀和第七球阀对应的通孔。
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