[实用新型]一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置

说明书

本实用新型涉及一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置，其特征在于：包括分离装置、收集装置和样品容器，分离装置包括热交换器和第一容器，第一容器的上端面开设有第一进气口、第一出气口、第一进液口和第一出液口，第一进气口粘接有第一球阀，第一出气口粘接有第二球阀，第二球阀与样品容器的输入端连通，热交换器与第一球阀连通，第一进液口粘接有第三球阀，第一出液口粘接有第四球阀；收集装置包括第二容器，第二容器上开设有第二出气口和第二进液口，第二出气口粘接有第五球阀，第二进液口与第四球阀远离第一出液口的一端连通，第五球阀远离第二出气口的一端与大气连通。本实用新型提供了一种操作更加简单的分析二氯硅烷中轻组分的采样装置。

技术领域

本实用新型涉及采样装置领域，尤其是一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置。

背景技术

二氯硅烷主要用于多晶硅外延生长以及化学气相沉积二氧化硅和氮化硅，它的硅含量比三氯氢硅和四氯化硅高,二氯硅烷沉积硅更有效,且淀积温度比其他氯硅烷低，采用二氯硅烷在降低温度下沉积厚层所需时间大大低于采用硅烷所需时间，因为二氯硅烷的纯度对硅的沉积速度有较大影响，所以二氯硅烷的纯度对其价格影响很大，在二氯硅烷产品出产后需要对二氯硅烷的纯度进行采样分析，二氯硅烷中的杂质包括一氯硅烷、三氯硅烷以及四氯硅烷，二氯硅烷的物理性质介于这些杂质之间，轻组分与重组分的混合会对纯度分析造成较大误差，现有的分析二氯硅烷中轻组分的采样装置操作复杂，效率不高。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种操作更加简单的分析二氯硅烷中轻组分的采样装置。

本实用新型的技术方案是这样实现的：一种分析二氯硅烷中轻组分的采样装置，其特征在于：包括分离装置、收集装置和样品容器，所述分离装置包括热交换器和第一容器，所述第一容器的上端面开设有第一进气口和第一出气口，所述第一进气口固定连接有第一球阀，所述第一出气口固定连接有第二球阀，所述第二球阀远离第一出气口的一端与样品容器的输入端连通，所述热交换器的热媒出口与第一球阀远离第一进气口的一端连通，所述第一容器的侧壁上开设有第一进液口和第一出液口，所述第一进液口固定连接有第三球阀，所述第一出液口固定连接有第四球阀；所述收集装置包括第二容器，所述第二容器的上端面开设有第二出气口，所述第二出气口固定连接有第五球阀，所述第二容器的侧壁开设有第二进液口，所述第二进液口与第四球阀远离第一出液口的一端连通，所述第五球阀远离第二出气口的一端与大气连通。

通过采用上述技术方案，第一进液口、第二进液口、第一进气口、第二进气口和第二出气口用于提供液体或气体进出的通道，第一球阀、第二球阀、第三球阀、第四球阀和第五球阀用于控制各自所在开口的启闭，第一出气口通过第二球阀与样品容器连通，使二氯硅烷产品内的轻组分可以进入样品容器中，所述热交换器用于将二氯硅烷产品中的重组分液化，热交换器的热媒端与第一球阀连通，使得液化的二氯硅烷产品中的重组分和呈气态的二氯硅烷产品中的轻组分可以进入第一容器，第一进液口使得填充液可以灌入第一容器，第一出液口通过第四球阀与第二进液口连通，在二氯化硅产品通入第一容器后，可以将填充液排入第二容器以保持第一容器内压强的稳定，保持第二出气口通过第五球阀与大气连通，在填充液被排入第二容器后，第二容器内的空气可以排入大气，保持第二容器内压强的稳定。

本实用新型进一步设置为：所述第一进液口位于第一容器侧壁靠近第一容器上端面的一侧，所述第一出液口位于第一容器侧壁靠近第一容器下端面的一侧，所述第二进液口与第一出液口位置对应。

通过采用上述技术方案，第一进液口位于第一容器侧壁靠近第一容器上端面的一侧使得填充液通过第一进液口填充第一容器时可以更轻松的将第一容器充满，所述第一出液口位于第一容器侧壁靠近第一容器下端面的一侧，所述第二进液口与第一出液口位置对应使得当二氯硅烷产品通入第一容器时，优先将填充液排入第二容器

本实用新型进一步设置为：所述第一容器和第二容器的外壁固定连接有保温层。