[实用新型]一种金刚石表面金属化装置结构

权利要求书

1.一种金刚石表面金属化装置结构，包括真空镀膜箱(1)，其特征在于：所述真空镀膜箱(1)的内部开设有真空镀膜室(2)，所述真空镀膜箱(1)的左侧固定安装有真空抽气泵(3)，所述真空抽气泵(3)上固定安装有真空抽气管(4)，所述真空抽气管(4)的右侧贯穿至真空镀膜室(2)的内部并相连通，所述真空镀膜箱(1)的底部固定安装有电动机(5)，所述真空镀膜室(2)的内底壁转动连接有支撑柱(6)，所述支撑柱(6)的底端延伸至真空镀膜箱(1)的底部并与电动机(5)的输出轴固定连接，所述支撑柱(6)的顶部固定安装有基片台(7)，所述基片台(7)的底部固定安装有真空加热器(8)，所述基片台(7)上夹持有金刚石片(13)，所述真空镀膜箱(1)顶部的左右两侧均固定安装有磁控溅射靶(9)，两个所述磁控溅射靶(9)的底部均贯穿至真空镀膜室(2)的内部。

2.根据权利要求1所述的一种金刚石表面金属化装置结构，其特征在于：所述真空镀膜箱(1)的内部固定安装有防护箱(10)，所述电动机(5)固定安装于防护箱(10)的内部，所述支撑柱(6)的底端贯穿至防护箱(10)的内部并与防护箱(10)转动连接。

3.根据权利要求1所述的一种金刚石表面金属化装置结构，其特征在于：所述支撑柱(6)与真空镀膜箱(1)的连接处固定安装有轴封，两个所述磁控溅射靶(9)以基片台(7)为轴呈向外倾斜状。

4.根据权利要求1所述的一种金刚石表面金属化装置结构，其特征在于：所述真空镀膜箱(1)底部的四角均固定安装有支撑腿(11)，四个所述支撑腿(11)的底部均固定安装有万向轮(12)。