[实用新型]一种金刚石表面金属化装置结构有效
申请号: | 201922170665.8 | 申请日: | 2019-12-06 |
公开(公告)号: | CN211005593U | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 邹杨;孙蕾;邹松东 | 申请(专利权)人: | 洛阳奥尔材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/18;C23C14/56;C23C14/50 |
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地址: | 471000 河南省洛阳*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 金刚石 表面 金属化 装置 结构 | ||
本实用新型涉及表面金属化装置技术领域,且公开了一种金刚石表面金属化装置结构,包括真空镀膜箱,所述真空镀膜箱的内部开设有真空镀膜室,所述真空镀膜箱的左侧固定安装有真空抽气泵。本实用新型,通过在支撑柱的顶部固定安装有基片台,从而使电动机运转带动支撑柱,且支撑柱带动基片台,进而使基片台的顶部夹持连接有的金刚石片进行转动,且基片台的底部固定安装有真空加热器,从而可对真空镀膜室进行加热,最后通过真空镀膜室内顶壁的左右两侧固定连接的磁控溅射靶进行真空镀膜,从而使金刚石片金属化更为均匀、结合力更好,几乎元素周期表中的所有固体材料均可以溅射到金刚石表面,从而实现了金刚石表面金属化的目的。
技术领域
本实用新型涉及表面金属化装置技术领域,具体为一种金刚石表面金属化装置结构。
背景技术
公知的,随着科学技术的飞速发展,金刚石片的技术已经得到普遍应用,在使用金刚石片时,金刚石片的金属化是一个重要的问题,金属化的材料、均匀性和附着力不好,会严重影响金刚石片的热学和力学性能,金刚石片金属化是指为了将金刚石与其它金属焊接更结实,需要在金刚石表面生长一层金属,它与金属的生长方式、旋转速度、加热温度等有关。
现有的金属化主要采用低真空炉化学烧结,但是这种方式只能制备极少数金属,有些金属不能通过化学烧结的方式完成,而且这种方式生长的金属纯度不高,会影响使用效果,因此,我们提出一种能够稳定的在金刚石表面生长各种高品质金属的装置结构,来解决上述问题。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种金刚石表面金属化装置结构,具备实现了金刚石表面金属化的目的等优点,解决了现有的金属化主要采用低真空炉化学烧结,但是这种方式只能制备极少数金属,有些金属不能通过化学烧结的方式完成,而且这种方式生长的金属纯度不高,会影响使用效果的问题。
(二)技术方案
为实现上述实现了金刚石表面金属化的目的,本实用新型提供如下技术方案:一种金刚石表面金属化装置结构,包括真空镀膜箱,所述真空镀膜箱的内部开设有真空镀膜室,所述真空镀膜箱的左侧固定安装有真空抽气泵,所述真空抽气泵上固定安装有真空抽气管,所述真空抽气管的右侧贯穿至真空镀膜室的内部并相连通,所述真空镀膜箱的底部固定安装有电动机,所述真空镀膜室的内底壁转动连接有支撑柱,所述支撑柱的底端延伸至真空镀膜箱的底部并与电动机的输出轴固定连接,所述支撑柱的顶部固定安装有基片台,所述基片台的底部固定安装有真空加热器,所述基片台上夹持有金刚石片,所述真空镀膜箱顶部的左右两侧均固定安装有磁控溅射靶,两个所述磁控溅射靶的底部均贯穿至真空镀膜室的内部。
优选的,所述真空镀膜箱的内部固定安装有防护箱,所述电动机固定安装于防护箱的内部,所述支撑柱的底端贯穿至防护箱的内部并与防护箱转动连接。
优选的,所述支撑柱与真空镀膜箱的连接处固定安装有轴封,两个所述磁控溅射靶以基片台为轴呈向外倾斜状。
优选的,所述真空镀膜箱底部的四角均固定安装有支撑腿,四个所述支撑腿的底部均固定安装有万向轮。
(三)有益效果
与现有技术相比,本实用新型提供了一种金刚石表面金属化装置结构,具备以下有益效果:
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