[实用新型]一种夹取硅片的机械抓手

权利要求书

1.一种夹取硅片的机械抓手，其特征在于：包括安装板(1)、固定转轮一(2)、同步带(3)、托板(4)、驱动气缸(5)、固定转轮二(6)，四个固定转轮二(6)安装于安装板(1)的中心，四个固定转轮一(2)分别安装于安装板(1)底面的四边，同步带(3)围绕安装板(1)依次穿过一个固定转轮一(2)、一个固定转轮二(6)实现首尾相接；托板(4)安装于固定转轮一(2)的内侧，且托板(4)的一侧与同步带(3)固定连接，且托板(4)与同步带(3)的连接处均位于托板(4)的同一侧；驱动气缸(5)连接两个相对设置的托板(4)。

2.如权利要求1所述的夹取硅片的机械抓手，其特征在于：固定转轮二(6)呈矩形排列，且同步带(3)从固定转轮二(6)的内侧穿过。

3.如权利要求1所述的夹取硅片的机械抓手，其特征在于：固定安装板(1)呈十字型结构。

4.如权利要求1所述的夹取硅片的机械抓手，其特征在于：安装板(1)上设有线性滑轨(7)，托板(4)滑动设置于线性滑轨(7)上。