[实用新型]一种晶片清洗架有效
| 申请号： | 201922177672.0 | 申请日： | 2019-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN211125589U | 公开（公告）日： | 2020-07-28 |
| 发明（设计）人： | 王含冠;梁庆瑞;王瑞;李鹏;陈龙;徐殿翔 | 申请（专利权）人： | 山东天岳先进材料科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人： | 王宽 |
| 地址： | 250100 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 清洗 | ||
1.一种晶片清洗架，其特征在于，其包括：
固定板，所述固定板设有滑道；
至少两个侧板，所述侧板通过第一连接件与所述滑道滑动连接，相邻的所述两个侧板的沿所述滑道的相对面为插片面，所述插片面设有相互对应的插片槽；和
与所述第一连接件对应的紧固件，所述紧固件将所述第一连接件与所述滑道位置固定。
2.根据权利要求1所述的晶片清洗架，其特征在于，所述晶片清洗架还包括连接板，所述连接板与所述固定板相对设置，所述连接板设有导向槽，所述侧板通过第二连接件与所述导向槽连接，所述第二连接件滑设于所述导向槽。
3.根据权利要求1所述的晶片清洗架，其特征在于，所述固定板还设有平行于所述滑道的滑槽，所述侧板设有与所述滑槽滑动连接的滑块。
4.根据权利要求3所述的晶片清洗架，其特征在于，所述滑槽为T型滑槽，所述滑块为能够匹配所述滑槽的T型滑块。
5.根据权利要求1所述的晶片清洗架，其特征在于，所述滑道为长条孔。
6.根据权利要求5所述的晶片清洗架，其特征在于，所述第一连接件为螺杆，所述螺杆的一端固定于所述侧板，另一端穿出所述长条孔，所述螺杆的穿出所述长条孔的部分设有外螺纹；所述紧固件为螺母，所述螺母与所述螺杆的外螺纹匹配。
7.根据权利要求1所述的晶片清洗架，其特征在于，所述侧板的插片面沿所述插片槽的延伸方向依次包括竖直段与倾斜段，所述倾斜段向相对的所述侧板一侧倾斜。
8.根据权利要求1所述的晶片清洗架，其特征在于，位于同一所述侧板的各所述插片槽的槽宽不同。
9.根据权利要求1所述的晶片清洗架，其特征在于，所述晶片清洗架包括三个侧板，三个所述侧板沿所述滑道依次排布。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
