[实用新型]一种晶片清洗架

说明书

本实用新型公开了一种晶片清洗架，其包括：固定板，所述固定板设有滑道；至少两个侧板，所述侧板通过第一连接件与所述滑道滑动连接，相邻的所述两个侧板的沿所述滑道的相对面为插片面，所述插片面设有相互对应的插片槽；和紧固件，所述紧固件与所述第一连接件对应，将所述第一连接件与所述滑道位置固定。通过设置滑道，使侧板可以相对于固定板移动，从而可以改变相邻的侧板之间的垂直距离，改变插片槽的尺寸，适用于不同尺寸的包括标准和非标准尺寸的晶片，减少清洗成本。另外，由于侧板在滑道中滑动，两个侧板之间的距离可以从无限接近至滑道长度的距离，可以调整的范围更大，适用于更多种尺寸的晶片。

技术领域

本实用新型涉及晶片清洗技术领域，具体涉及一种晶片清洗架。

背景技术

在晶片的加工过程中，晶片表面会不可避免地产生杂质颗粒，杂质颗粒会刮伤晶片，造成晶片的报废。另外，晶片表面的洁净度也将直接影响下游外延器件的使用寿命，因此，晶片清洗程序在晶片加工过程中占有非常重要的地位。目前，晶片清洗程序往往借助清洗用具，传统的清洗用具有2inch、3inch、4inch、5inch、6inch等不同尺寸规格，种类繁多、造价昂贵、无法清洗非标准尺寸的晶片，不同尺寸的晶片需要借助不同的清洗用具来清洗，清洗成本高。

需要说明的是，上述内容属于发明人的技术认知范畴，并不必然构成现有技术。

发明内容

本实用新型的目的在于提供了一种晶片清洗架，用以解决现有清洗工具仅能清洗一种规格、仅能清洗标准尺寸规格的晶片的问题。

本实用新型提供一种晶片清洗架，包括：固定板和至少两个侧板。固定板设有滑道。侧板通过第一连接件与滑道滑动连接，相邻的两个侧板的沿滑道的相对面为插片面，插片面设有相互对应的插片槽。晶片清洗架还包括与第一连接件对应的紧固件，紧固件将第一连接件与滑道位置固定。通过设置滑道，使侧板可以相对于固定板移动，从而可以改变相邻的侧板之间的垂直距离，改变插片槽的尺寸，适用于不同尺寸的包括标准和非标准尺寸的晶片，减少清洗成本。另外，由于侧板在滑道中滑动，两个侧板之间的距离可以从无限接近至滑道长度的距离，可以调整的范围更大，适用于更多种尺寸的晶片。

在晶片清洗架的优选的实现方式中，晶片清洗架还包括连接板，连接板与固定板相对设置，连接板设有导向槽，侧板通过第二连接件与导向槽连接，第二连接件滑设于导向槽。提高了晶片清洗架的稳固性。

在晶片清洗架的优选的实现方式中，固定板还设有平行于滑道的滑槽，侧板设有与滑槽滑动连接的滑块。

在晶片清洗架的优选的实现方式中，滑槽为T型滑槽，滑块为能够匹配该滑槽的T型滑块，避免发生滑块脱离滑槽的情况。

在晶片清洗架的优选的实现方式中，滑道为长条孔。

在晶片清洗架的优选的实现方式中，第一连接件为螺杆，螺杆的一端固定于侧板，另一端穿出长条孔，螺杆的穿出长条孔的部分设有外螺纹。紧固件为螺母，螺母与螺杆的外螺纹匹配，方便操作。

在晶片清洗架的优选的实现方式中，侧板的插片面沿插片槽的延伸方向依次包括竖直段与倾斜段，倾斜段向相对的侧板一侧倾斜，有效防止晶片掉落，而且使清洗废液及时流走，避免对晶片造成二次污染。

在晶片清洗架的优选的实现方式中，位于同一侧板的各插片槽的槽宽不同。

在晶片清洗架的优选的实现方式中，晶片清洗架包括三个侧板，三个侧板沿滑道依次排布，可以实现同时对多种尺寸晶片的清洗，提高工作效率。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解，构成本实用新型的一部分，本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：

图1为本实用新型一实施方式中晶片清洗架的结构示意图。