[实用新型]一种直写式曝光机用台面清洁结构有效
申请号: | 201922182846.2 | 申请日: | 2019-12-09 |
公开(公告)号: | CN211454230U | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 肖磊 | 申请(专利权)人: | 上海探跃半导体设备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京华识知识产权代理有限公司 11530 | 代理人: | 乔浩刚 |
地址: | 200120 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 直写式 曝光 台面 清洁 结构 | ||
1.一种直写式曝光机用台面清洁结构,包括曝光机本体(1)、风机管道(13)和电动机(17),其特征在于:所述曝光机本体(1)的内侧安装有玻璃台面(2),且玻璃台面(2)的上方设置有清洁辊(3),所述清洁辊(3)的外侧连接有防护块(4),且防护块(4)的表面设置有粘尘贴(5),所述清洁辊(3)的表面预留有吸尘孔(6),且清洁辊(3)的两端通过进气管(7)和连接管(8)相连,所述进气管(7)的外侧套设有齿轮(9),且齿轮(9)下方的曝光机本体(1)上固定有固定板(11),并且固定板(11)的上端面设置有齿块(10),所述连接管(8)的外侧套设有套块(12),且套块(12)的边侧连接有风机管道(13),并且连接管(8)的表面开设有通孔(14),所述电动机(17)安装在曝光机本体(1)的外侧,且电动机(17)的端头处连接有电机轴(16),并且电机轴(16)的外侧套设有活动块(15)。
2.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用台面清洁结构,其特征在于:所述防护块(4)在清洁辊(3)上等角度分布,且防护块(4)为橡胶材质,并且防护块(4)和粘尘贴(5)为粘贴连接。
3.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用台面清洁结构,其特征在于:所述吸尘孔(6)在清洁辊(3)上等间距分布,且清洁辊(3)和进气管(7)组成相对滚动结构。
4.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用台面清洁结构,其特征在于:所述连接管(8)为倒置“U”形结构,且连接管(8)的两端分别通过进气管(7)和通孔(14)与清洁辊(3)和套块(12)相连通,并且套块(12)和连接管(8)为转动连接。
5.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用台面清洁结构,其特征在于:所述齿块(10)在固定板(11)上等间距分布,且齿块(10)和齿轮(9)为啮合连接。
6.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用台面清洁结构,其特征在于:所述电机轴(16)上设置有2条螺距相同、旋向相反的螺纹槽,且电机轴(16)和活动块(15)为螺纹连接,并且电机轴(16)关于玻璃台面(2)的中心轴线对称分布。
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