[实用新型]一种直写式曝光机用台面清洁结构有效

专利信息
申请号: 201922182846.2 申请日: 2019-12-09
公开(公告)号: CN211454230U 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: 肖磊 申请(专利权)人: 上海探跃半导体设备有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京华识知识产权代理有限公司 11530 代理人: 乔浩刚
地址: 200120 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 直写式 曝光 台面 清洁 结构
【权利要求书】:

1.一种直写式曝光机用台面清洁结构,包括曝光机本体(1)、风机管道(13)和电动机(17),其特征在于:所述曝光机本体(1)的内侧安装有玻璃台面(2),且玻璃台面(2)的上方设置有清洁辊(3),所述清洁辊(3)的外侧连接有防护块(4),且防护块(4)的表面设置有粘尘贴(5),所述清洁辊(3)的表面预留有吸尘孔(6),且清洁辊(3)的两端通过进气管(7)和连接管(8)相连,所述进气管(7)的外侧套设有齿轮(9),且齿轮(9)下方的曝光机本体(1)上固定有固定板(11),并且固定板(11)的上端面设置有齿块(10),所述连接管(8)的外侧套设有套块(12),且套块(12)的边侧连接有风机管道(13),并且连接管(8)的表面开设有通孔(14),所述电动机(17)安装在曝光机本体(1)的外侧,且电动机(17)的端头处连接有电机轴(16),并且电机轴(16)的外侧套设有活动块(15)。

2.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用台面清洁结构,其特征在于:所述防护块(4)在清洁辊(3)上等角度分布,且防护块(4)为橡胶材质,并且防护块(4)和粘尘贴(5)为粘贴连接。

3.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用台面清洁结构,其特征在于:所述吸尘孔(6)在清洁辊(3)上等间距分布,且清洁辊(3)和进气管(7)组成相对滚动结构。

4.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用台面清洁结构,其特征在于:所述连接管(8)为倒置“U”形结构,且连接管(8)的两端分别通过进气管(7)和通孔(14)与清洁辊(3)和套块(12)相连通,并且套块(12)和连接管(8)为转动连接。

5.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用台面清洁结构,其特征在于:所述齿块(10)在固定板(11)上等间距分布,且齿块(10)和齿轮(9)为啮合连接。

6.根据权利要求1所述的一种直写式曝光机用台面清洁结构,其特征在于:所述电机轴(16)上设置有2条螺距相同、旋向相反的螺纹槽,且电机轴(16)和活动块(15)为螺纹连接,并且电机轴(16)关于玻璃台面(2)的中心轴线对称分布。

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