[实用新型]一种直写式曝光机用台面清洁结构有效

专利信息
申请号: 201922182846.2 申请日: 2019-12-09
公开(公告)号: CN211454230U 公开(公告)日: 2020-09-08
发明(设计)人: 肖磊 申请(专利权)人: 上海探跃半导体设备有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 北京华识知识产权代理有限公司 11530 代理人: 乔浩刚
地址: 200120 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 直写式 曝光 台面 清洁 结构
【说明书】:

实用新型公开了一种直写式曝光机用台面清洁结构,包括曝光机本体、风机管道和电动机,所述曝光机本体的内侧安装有玻璃台面,且玻璃台面的上方设置有清洁辊,所述清洁辊的外侧连接有防护块,所述清洁辊的表面预留有吸尘孔,且清洁辊的两端通过进气管和连接管相连,所述进气管的外侧套设有齿轮,且齿轮下方的曝光机本体上固定有固定板,所述连接管的外侧套设有套块,所述电动机安装在曝光机本体的外侧,且电动机的端头处连接有电机轴。该直写式曝光机用台面清洁结构,通过粘尘贴以及吸尘的方式对台面上灰尘进行清理,能够更好的提升清洁效率,也无需对粘尘贴频繁更换,并且设有对台面进行保护的机构,能够避免对台面造成损坏。

技术领域

本实用新型涉及直写式曝光机技术领域,具体为一种直写式曝光机用台面清洁结构。

背景技术

曝光机指的是通过紫外线的照射,将透明体上的图像转移到其他物质上的设备,相对于传统的曝光机,直写式曝光机因精准度更高而被广泛应用,而为了保证曝光之后的物质表面不含其他杂物的成像,对台面清洁程度的要求非常高,因此直写式曝光机须有特定的台面清洁机构,然而现有的台面清洁机构在使用过程中依旧存在以下缺点:

1.大多是通过粘尘贴来实现对灰尘的清理,由于粘尘贴在使用过之后表面会残留大量的灰尘,因此需要频繁的进行更换,不利于对台面的高效清洁;

2.并且传统对台面清洁的机构长时间与台面接触后,会对台面造成一定的损坏,进而影响曝光机的曝光。

针对上述问题,急需在原有台面清洁机构的基础上进行创新设计。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种直写式曝光机用台面清洁结构,以解决上述背景技术提出需要频繁的对粘尘贴进行更换,不利于对台面的高效清洁,传统的台面清洁机构长时间与台面接触后,会对台面造成一定的损坏的问题。

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种直写式曝光机用台面清洁结构,包括曝光机本体、风机管道和电动机,所述曝光机本体的内侧安装有玻璃台面,且玻璃台面的上方设置有清洁辊,所述清洁辊的外侧连接有防护块,且防护块的表面设置有粘尘贴,所述清洁辊的表面预留有吸尘孔,且清洁辊的两端通过进气管和连接管相连,所述进气管的外侧套设有齿轮,且齿轮下方的曝光机本体上固定有固定板,并且固定板的上端面设置有齿块,所述连接管的外侧套设有套块,且套块的边侧连接有风机管道,并且连接管的表面开设有通孔,所述电动机安装在曝光机本体的外侧,且电动机的端头处连接有电机轴,并且电机轴的外侧套设有活动块。

优选的,所述防护块在清洁辊上等角度分布,且防护块为橡胶材质,并且防护块和粘尘贴为粘贴连接。

优选的,所述吸尘孔在清洁辊上等间距分布,且清洁辊和进气管组成相对滚动结构。

优选的,所述连接管为倒置“U”形结构,且连接管的两端分别通过进气管和通孔与清洁辊和套块相连通,并且套块和连接管为转动连接。

优选的,所述齿块在固定板上等间距分布,且齿块和齿轮为啮合连接。

优选的,所述电机轴上设置有2条螺距相同、旋向相反的螺纹槽,且电机轴和活动块为螺纹连接,并且电机轴关于玻璃台面的中心轴线对称分布。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:该直写式曝光机用台面清洁结构,通过粘尘贴以及吸尘的方式对台面上灰尘进行清理,能够更好的提升清洁效率,也无需对粘尘贴频繁更换,并且设有对台面进行保护的机构,能够避免对台面造成损坏;

1.通过电动机和电机轴的传动,能够通过活动块和连接管平稳移动,通过齿轮与齿块的相啮合,能够让清洁辊在清洁的过程中转动,进而实现吸尘孔吸尘以及粘尘贴粘尘的目的,进一步的保证台面的清洁程度;

2.与台面接触的防护块为橡胶材质,因此避免了对台面造成损坏,通过清洁辊、进气管、连接管和套块的相连通,方便被吸入的灰尘从风机管道直接排出。

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