[实用新型]一种可稳定硅源浓度的气动阀门组件有效
| 申请号： | 201922183477.9 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN211502324U | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 李慎重;蒋玉龙;王震;陈华;田达晰;张银光;邓伟;马向阳;杨德仁 | 申请（专利权）人： | 金瑞泓微电子（衢州）有限公司 |
| 主分类号： | F17C13/04 | 分类号： | F17C13/04;F17C5/00 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 王亮 |
| 地址： | 324000 浙江省衢*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 稳定 浓度 气动 阀门 组件 | ||
【权利要求书】：
1.一种可稳定硅源浓度的气动阀门组件，包括与氢气输入端相连的进气阀(1)，其特征在于，所述的进气阀(1)同时连接静态气路和载气气路，所述的静态气路上设置有静态手动阀(2)、静态常开气动阀(3)和静态调压阀(4)，所述的载气气路上设置有常闭气动阀(5)和载气调压阀(6)，所述的静态气路和载气气路同时通入到气源钢瓶中。
2.根据权利要求1所述的可稳定硅源浓度的气动阀门组件，其特征在于：所述的静态调压阀(4)的调压数值为20PSI，所述的载气调压阀(6)的调压数值为25PSI。
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