[实用新型]一种检测玻璃基板表面异物的装置

权利要求书

1.一种检测玻璃基板表面异物的装置，包括检测装置和用于放置待检测物的平台，其特征在于：所述检测装置包括上料入口单元、加工单元、玻璃基板、激光传感器以及激光反射单元，当玻璃运动检测装置不动时，激光传感器和激光反射单元分别安装于上料入口单元的上方和下方，激光传感器发出的光源被激光反射单元反射回；当玻璃不动检测装置运动时，激光传感器发射出激光，达到激光反射单元上，再由激光反射单元将激光反射回传感器，激光束平行于玻璃基板表面。

2.如权利要求1所述的检测玻璃基板表面异物的装置，其特征在于：所述玻璃基板与上料入口单元之间的上下抖动距离≤5mm。

3.如权利要求1所述的检测玻璃基板表面异物的装置，其特征在于：所述上料入口单元可成对安装激光传感器和激光反射单元。

4.如权利要求1所述的检测玻璃基板表面异物的装置，其特征在于：所述加工单元运动时，玻璃基板上下抖动距离≤3mm。

5.如权利要求1所述的检测玻璃基板表面异物的装置，其特征在于：当玻璃基板不动检测装置运动时，玻璃基板在加工平台的平整度≤2mm。