[实用新型]一种检测玻璃基板表面异物的装置有效
申请号: | 201922183978.7 | 申请日: | 2019-12-09 |
公开(公告)号: | CN211402177U | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 孟月;石卓;余慧;陈丽娟 | 申请(专利权)人: | 北京清大天达光电科技股份有限公司 |
主分类号: | G01N21/94 | 分类号: | G01N21/94 |
代理公司: | 北京挺立专利事务所(普通合伙) 11265 | 代理人: | 叶树明 |
地址: | 101200 北京市平谷区马*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 检测 玻璃 表面 异物 装置 | ||
本实用新型提供了一种检测玻璃基板表面异物的装置,包括检测装置和用于放置待检测物的平台,所述检测装置包括上料入口单元、加工单元、玻璃基板、激光传感器以及激光反射单元,当玻璃运动检测装置不动时,激光传感器和激光反射单元分别安装于上料入口单元的上方和下方,激光传感器发出的光源被激光反射单元反射回;当玻璃不动检测装置运动时,激光传感器发射出激光,达到激光反射单元上,再由激光反射单元将激光反射回传感器,激光束平行于玻璃基板表面,可以在物料进入的过程中检测,也可以在加工过程中检测,及早发现异物可以提高生产效率,同时避免异物对工艺设备造成损坏。
技术领域
本实用新型涉及显示面板检测技术领域,尤其是涉及一种检测玻璃基板表面异物的装置。
背景技术
随着显示面板工艺的发展,制造厂家越来越看重产品良率和效率,而玻璃基板在经过多道工艺后,表面可能会落上其他异物,如螺钉等,这将导致后期工艺出现产品报废或者导致设备损坏,因此对玻璃基板表面上异物排查是非常有必要的。
基于上述一系列的问题,遂有以下技术方案的产生。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种检测玻璃基板表面异物的装置,可以在物料进入的过程中检测,也可以在加工过程中检测,及早发现异物可以提高生产效率,同时避免异物对工艺设备造成损坏。
为实现上述目的,本实用新型提供了以下技术方案:
本实用新型提供的一种检测玻璃基板表面异物的装置,包括检测装置和用于放置待检测物的平台,所述检测装置包括上料入口单元、加工单元、玻璃基板、激光传感器以及激光反射单元,当玻璃运动检测装置不动时,激光传感器和激光反射单元分别安装于上料入口单元的上方和下方,激光传感器发出的光源被激光反射单元反射回;当玻璃不动检测装置运动时,激光传感器发射出激光,达到激光反射单元上,再由激光反射单元将激光反射回传感器,激光束平行于玻璃基板表面。
进一步的,所述玻璃基板与上料入口单元之间的上下抖动距离≤5mm。
进一步的,所述上料入口单元可成对安装激光传感器和激光反射单元。
进一步的,所述加工单元运动时,玻璃基板上下抖动距离≤3mm。
进一步的,当玻璃不动检测装置运动时,玻璃基板在加工平台的平整度≤2mm。
本实用新型与现有技术相比具有如下有益效果:
本实用新型针对玻璃基板与检测装置两者相互移动时采取对应的异物检测装置,当玻璃运动检测装置不动时,激光传感器和激光反射单元分别安装于上料入口单元的上方和下方,激光传感器发出的光源被激光反射单元反射回;当玻璃不动检测装置运动时,激光传感器发射出激光,达到激光反射单元上,再由激光反射单元将激光反射回传感器,激光束平行于玻璃基板表面,由于激光遇到异物时会出现折射现象,被反射回来的光会出现能量损失,根据激光反射回来的光源出现能量损失,可以确定玻璃表面是否有异物;
本装置在检测过程中可以确定异物来源,并阻止产品进入加工单元,能够及早避免工艺浪费和设备损坏。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是玻璃基板运动检测装置不动时的检测装置结构示意图;
图2是玻璃基板不动检测装置运动时的检测装置结构示意图;
图中:1上料入口单元;2玻璃基板;3激光传感器;4激光反射单元;5、加工单元;6加工平台
具体实施方式
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