[实用新型]一种晶圆圆心位置纠心装置

权利要求书

1.一种晶圆圆心位置纠心装置，包括内置腔(1)映射板(7)，其特征在于：所述内置腔(1)的内部设置有内板(2)，且内板(2)的内部安装有主体(3)，所述主体(3)的外部表面设置有标尺(8)，所述标尺(8)底部外部的一端安装有连接座(4)，且连接座(4)的内部设置有固定螺栓(5)，所述映射板(7)位于内板(2)内部的左端，所述内板(2)内部的右端安装有辅助装置(6)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述连接座(4)外部的一端与主体(3)底部的外部为固定连接，且连接座(4)关于主体(3)的中心呈环形分布。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述主体(3)通过连接座(4)与固定螺栓(5)和内板(2)构成固定结构，且内板(2)的外部与内置腔(1)为一体化结构。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述内置腔(1)的形状为矩形结构，且内置腔(1)的内部与辅助装置(6)的外部为紧密贴合。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述标尺(8)的内部与主体(3)为固定连接，且标尺(8)的形状为圆环形结构。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述辅助装置(6)包括滑道(601)、电动推杆(602)和红外线(603)，且辅助装置(6)内部的中部安装有滑道(601)，所述滑道(601)的内部设置有电动推杆(602)，且电动推杆(602)顶部的内部连接有红外线(603)。

7.根据权利要求6所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述红外线(603)底部的外部与电动推杆(602)为固定连接，且红外线(603)通过滑道(601)与电动推杆(602)构成升降结构。

8.根据权利要求6所述的一种晶圆圆心位置纠心装置，其特征在于：所述电动推杆(602)底部的外部与滑道(601)内部的底部为焊接连接，且滑道(601)的俯视截面形状为半圆形结构。