[实用新型]一种石英舟有效
| 申请号： | 201922198492.0 | 申请日： | 2019-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN210535640U | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 赵迎财;金井升;张昕宇 | 申请（专利权）人： | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 田媛媛 |
| 地址： | 314416 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 石英 | ||
【权利要求书】：
1.一种石英舟，其特征在于，包括一对相对设置的侧支撑杆，一根底支撑杆，一对相对设置的端板；
所述侧支撑杆和所述底支撑杆呈倒三角分布，所述端板具有用于固定所述侧支撑杆和所述底支撑杆的多个槽孔。
2.如权利要求1所述的石英舟，其特征在于，还包括：
位于所述端板之间的支撑板，且所述支撑板具有分别与所述侧支撑杆的截面尺寸和所述底支撑杆的截面尺寸相匹配的通孔。
3.如权利要求2所述的石英舟，其特征在于，所述支撑板为中空型支撑板。
4.如权利要求3所述的石英舟，其特征在于，所述侧支撑杆的内侧和所述底支撑杆的内侧均具有凹槽。
5.如权利要求4所述的石英舟，其特征在于，位于所述侧支撑杆的所述凹槽的横截面为梯形。
6.如权利要求5所述的石英舟，其特征在于，还包括：
与所述端板和所述支撑板固定连接的着力部。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
