[实用新型]碳化硅晶片清洗装置

权利要求书

1.一种碳化硅晶片清洗装置，其特征在于，包括底座(1)、把手(2)、至少一个支撑杆(3)和多个围栏(4)；

所述把手(2)通过所述支撑杆(3)连接在所述底座(1)上；

所述多个围栏(4)分别连接在所述底座(1)上，并且所述多个围栏(4)与所述支撑杆(3)以及所述底座(1)合围形成容纳空间。

2.根据权利要求1所述的碳化硅晶片清洗装置，其特征在于，所述底座(1)为栅格板结构；所述底座(1)包括边框和多个连接杆，所述多个连接杆横竖排列并分别连接在所述边框内形成所述栅格板结构；所述支撑杆(3)以及所述围栏(4)分别连接在所述边框上。

3.根据权利要求2所述的碳化硅晶片清洗装置，其特征在于，所述边框为四边形结构，所述围栏(4)设置有三个，并且所述三个围栏(4)分别连接在所述边框的三个侧边上。

4.根据权利要求2所述的碳化硅晶片清洗装置，其特征在于，所述围栏(4)的高度为30～50mm。

5.根据权利要求2所述的碳化硅晶片清洗装置，其特征在于，所述连接杆为不锈钢圆钢，所述连接杆的直径为8～10mm。

6.根据权利要求2所述的碳化硅晶片清洗装置，其特征在于，所述边框的边角呈弧形。

7.根据权利要求2所述的碳化硅晶片清洗装置，其特征在于，所述支撑杆(3)设置有两个，所述两个支撑杆(3)相对立的连接所述底座(1)的同一侧边，所述把手(2)连接在所述两个支撑杆(3)之间。

8.根据权利要求7所述的碳化硅晶片清洗装置，其特征在于，所述支撑杆(3)为不锈钢圆钢连续两次折弯形成，所述支撑杆(3)的一端连接所述底座(1)，另一端连接所述把手(2)。

9.根据权利要求8所述的碳化硅晶片清洗装置，其特征在于，所述把手(2)为杆状结构，所述把手(2)的两端分别连接所述两个支撑杆(3)的端部。