[实用新型]基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具、激光清洗机

权利要求书

1.一种基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，包括气动振镜组件、准直器组件、平面场镜组件以及密封激光光路的壳体组件，其中：

所述气动振镜组件包括气动振动器、转动装配于所述气动振动器的振动轴上的转动件，端部与所述转动件滑动连接的摇杆以及固定于所述摇杆摆动轴上随其摆动的振镜，其中所述振动轴在由进气管通入的压缩空气驱动伸缩，所述气动振动器的尾气通过尾气排放管排出，所述振镜的反射面分别与所述准直器组件的准直镜和平面场镜组件的平面场镜相对准以反射激光光束。

2.如权利要求1所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，所述摇杆设有一个或多个，每一摇杆的中心均位于所述摆动轴上，所述摇杆设有多个时，多个摇杆端部中心对称组成呈一体结构的星型零件，每一摇杆的两端分别由一个气动振动器驱动，驱动同一摇杆的多个气动振动器的振动轴异步伸缩。

3.如权利要求1所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，所述转动件为滑轮，每一振动轴上均连接一所述滑轮，所述摇杆的端部形成有可卡住所述滑轮的滑动槽，驱动同一摇杆的多个气动振动器、振动轴及其连接的滑轮均以摆动轴为轴镜像布置，每一气动振动器及其连接的滑轮均与所述摇杆垂直布置。

4.如权利要求3所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，所述滑动槽呈腰型孔结构，所述滑轮在滑动槽内滚动。

5.如权利要求4所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，多个所述气动振动器由同一气路供气且由同一气路排气。

6.如权利要求1所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，所述振镜包括振镜镜片和固定于所述振镜镜片底部的振镜座，所述振镜镜片和所述振镜座的对称轴均位于摇杆的摆动轴上，所述摇杆中心底部通过摇杆轴承转动连接于壳体组件上，所述振镜座固定于所述摇杆中心的顶部。

7.如权利要求1所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，所述壳体组件包括振动器底座，以及固定于所述振动器底座上的外壳，所述振动器底座上形成有用于装配所述气动振动器的装配槽，所述气动振动器的本体通过振动器压块压紧安装在振动器底座的装配槽内，所述摇杆的中心通过摇杆轴承转动连接在所述振动器底座上，所述外壳内形成容纳所述振镜和所述气动振动器的空间，所述外壳相邻的两侧壁上分别形成有用于准直器安装孔和平面场镜安装孔以供激光光路穿过。

8.如权利要求7所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，所述外壳的底部通过密封O型圈密封装配于所述振动器底座上。

9.如权利要求1所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，所述准直器组件包括准直器壳体、安装在准直器壳体一端内的准直镜，安装在准直器壳体另一端上的光纤。

10.如权利要求9所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，所述准直器壳体的底部固定有开口对准散热鳍片的散热口，所述散热口的进气口通过散热口快插连接气源。

11.如权利要求10所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，所述散热口快插与所述尾气排放管相连通。

12.如权利要求9所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，所述准直器壳体的开口端密封装配在所述壳体组件的准直器安装孔上。

13.如权利要求10所述的基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，其特征在于，所述散热口的一端固定有法兰座，所述法兰座装配于所述壳体组件上。