[实用新型]基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具、激光清洗机

说明书

本实用新型公开了一种基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具、激光清洗机，耐辐射激光清洗照射具包括气动振镜组件、准直器组件、平面场镜组件以及密封激光光路的壳体组件，其中：气动振镜组件包括气动振动器、转动装配于气动振动器的振动轴上的转动件，端部与转动件滑动连接的摇杆以及固定于摇杆摆动轴上随其摆动的振镜，其中振动轴在由进气管通入的压缩空气驱动伸缩，气动振动器的尾气通过尾气排放管排出，振镜的反射面分别与准直器组件的准直镜和平面场镜组件的平面场镜相对准以反射激光光束。本实用新型振镜摆动稳定，适用于高剂量辐射环境、强磁、强电磁干扰等特殊环境。

技术领域

本实用新型涉及激光微加工技术领域，特别是涉及一种基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具及其清洗方法。

背景技术

激光清洗是近年来新兴的一种清洗方式，具有无需清洗介质、不产生增量的二次污染的特点，非常适合在核工业领域应用，在放射性沾污构件、核设施退役等过程中，能够直接将表面沾污核素剥离并通过吸尘设备收集，有效防止核污染扩散，并减少二次污染降低后期处置成本。

激光清洗机采用脉冲激光器产生脉冲激光，由光纤传导至激光清洗执行装置，一般称为激光照射具、激光清洗头或者称为激光扫描枪，激光清洗头将清洗激光束扫描成线。现有技术的激光清洗照射具采用电驱动的振镜系统作为核心部件，振镜包含驱动线圈和反馈电路，线圈一般采用漆包线，当激光照射具长期处于辐射环境或γ射线剂量较大的场所使用时，漆包线的漆层可能脆化脱落导致线圈短路，反馈电路中含有大量芯片，同样无法抵抗γ射线的破坏，因此一般工业的激光照射具不具备耐辐射特性。除此之外强磁、强电磁干扰等特殊环境也会对现有技术的激光清洗照射具产生不利影响，导致激光清洗设备无法使用。

实用新型内容

本实用新型的目的是针对现有技术中存在的电驱动的振镜系统不适用高辐射环境的问题，而提供一种基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具。利用气动振动器和滑动摇杆机构的气动振镜系统，使激光照射具没有任何电子元器件，适用于强磁、强电磁干扰的环境。

本实用新型的另一个目的是提供基于所述气动激光清洗执行器的清洗机，激光清洗主机远离辐射环境。

为实现本实用新型的目的所采用的技术方案是：

一种基于气动振动器的耐辐射激光清洗照射具，包括气动振镜组件、准直器组件、平面场镜组件以及密封激光光路的壳体组件，其中：

所述气动振镜组件包括气动振动器、转动装配于所述气动振动器的振动轴上的转动件，端部与所述转动件滑动连接的摇杆以及固定于所述摇杆摆动轴上随其摆动的振镜，其中所述振动轴在由进气管通入的压缩空气驱动伸缩，所述气动振动器的尾气通过尾气排放管排出，所述振镜的反射面分别与所述准直器组件的准直镜和平面场镜组件的平面场镜相对准以反射激光光束。

在上述技术方案中，所述摇杆设有一个或多个，每一摇杆的中心均位于所述摆动轴上，所述摇杆设有多个时，多个摇杆端部中心对称组成呈一体结构的星型零件，每一摇杆的两端分别由一个气动振动器驱动，驱动同一摇杆的多个气动振动器的振动轴异步伸缩。

在上述技术方案中，所述转动件为滑轮，每一振动轴上均连接一滑轮，所述摇杆的端部形成有可卡住所述滑轮的滑动槽，驱动同一摇杆的多个气动振动器、振动轴及其连接的滑轮均以摆动轴为轴镜像布置，每一气动振动器及其连接的滑轮均与所述摇杆垂直布置。

在上述技术方案中，所述滑动槽呈腰型孔结构，所述滑轮在滑动槽内滚动。

在上述技术方案中，多个所述气动振动器由同一气路供气且由同一气路排气。

在上述技术方案中，所述振镜包括振镜镜片和固定于所述振镜镜片底部的振镜座，所述振镜镜片和所述振镜座的对称轴均位于摇杆的摆动轴上，所述摇杆中心底部通过摇杆轴承转动连接于壳体组件上，所述振镜座固定于所述摇杆中心的顶部。