[实用新型]光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统

权利要求书

1.一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统，其特征在于，包括波前像差测量模块、偏心测量模块和非接触间距测量模块；

所述波前像差测量模块包括第一光源、第一准直镜、第一分束镜、第一二向色镜、第二二向色镜、反射镜、缩扩束镜组、微透镜阵列和相机；

所述偏心测量模块包括第二光源、分划板、第二分束镜、变焦镜头、成像组件、第一探测器以及与所述波前像差测量模块共用的第二二向色镜；

所述非接触间距测量模块包括第三光源、第一耦合器、参考臂、第二耦合器、第二探测器、第三准直镜以及与所述波前像差测量模块共用的第一二向色镜和第二二向色镜；

所述第一光源出射的光经所述第一准直镜准直、所述第一分束镜反射后透射所述第一二向色镜，然后由所述第二二向色镜反射至待测镜头，通过待测镜头后的光经所述反射镜反射后再次经过待测镜头，然后经所述第二二向色镜反射、第一二向色镜透射、第一分束镜透射后再依次经过所述缩扩束镜组、微透镜阵列到达所述相机，实现待测镜头的波前像差测量；

所述第二光源出射的光经过所述分划板后由所述第二分束镜反射至所述变焦镜头，然后经所述第二二向色镜透射到达待测镜头，待测镜头的后向反射光先透射所述第二二向色镜再经过所述变焦镜头，然后透射所述第二分束镜，再经过所述成像组件到达所述第一探测器，实现待测镜头的偏心精度测量；

所述第三光源出射的光经所述第一耦合器后均分成两束：第一光束和第二光束，所述第一光束经过所述参考臂反射后返回至所述第二耦合器，所述第二光束经过所述第三准直器后被所述第一二向色镜反射，再由所述第二二向色镜反射至待测镜头，待测镜头的后向反射光再次经过第二二向色镜反射、第一二向色镜反射后，经过所述第三准直器后到达所述第二耦合器与所述第一光束耦合，然后一同进入所述第二探测器，实现待测镜头的非接触间距测量。

2.根据权利要求1所述的光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统，其特征在于，所述第二光源和分划板之间还设置有第二准直镜。

3.根据权利要求1所述的光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统，其特征在于，所述成像组件为聚焦透镜组。