[实用新型]光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统

说明书

本实用新型公开了一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统，包括波前像差测量模块：其包括第一光源、第一准直镜、第一分束镜、第一二向色镜、第二二向色镜、反射镜、缩扩束镜组、微透镜阵列和相机；偏心测量模块：其包括第二光源、第二准直镜、分划板、第二分束镜、变焦镜头、成像组件、第一探测器以及共用的第二二向色镜；和非接触间距测量模块：其包括第三光源、第一耦合器、参考臂、第二耦合器、第二探测器、第三准直镜以及共用的第一二向色镜和第二二向色镜。本实用新型可以将偏心测试、间隔测试和波前像差测试三个功能一体化集成，实现三个功能系统同光路设计，三个功能模块互不影响，切换方便，能减少因为切换组件带来的误差。

技术领域

本实用新型涉及光学测量领域，特别涉及一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统。

背景技术

传统的光学镜头的装调流程是，在镜片加工完成后，就进入镜头分步式的装配检测流程，首先需要定心仪引导调整镜片偏心，使其与理论光轴重合，然后将镜片移出定心仪的载物台，用间距测量仪器，控制镜片之间的空气间隔，如此往复；最后用像质评价的仪器，进行整个镜头的像质测量。但是，由于需要三台设备，所以三者之间是分布离线测量的，不仅检测效率低下，而且还引入累计误差，带来球差、色差、离焦、倍率变化、视场偏移等，降低成像质量。

中国专利CN201821412668.7，公开了“一种光学镜头的间距偏心和波前像差一体化测量装置”，其能够同时实现间距测量、偏心测量和波前测量，但是该系统的间距测量和波前测量光路采用自下而上，而偏心光路自上而下，在系统组装的过程中，需要将从气浮台下方调整波前像差模块将其光轴与偏心光路光轴调到共路，由于下方空间有限，导致操作困难。另外，在系统完成偏心测试之后再进行波前像差测试时，需要转动转轮切换到反射镜才能进行测试，转轮的切换会带来光轴的偏差，且操作麻烦。

所以，现在需要一种更可靠的方案。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于针对上述现有技术中的不足，提供一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种光学镜头的间距、偏心和波前像差一体化测量系统，包括波前像差测量模块、偏心测量模块和非接触间距测量模块；

所述波前像差测量模块包括第一光源、第一准直镜、第一分束镜、第一二向色镜、第二二向色镜、反射镜、缩扩束镜组、微透镜阵列和相机；

所述偏心测量模块包括第二光源、分划板、第二分束镜、变焦镜头、成像组件、第一探测器以及与所述波前像差测量模块共用的第二二向色镜；

所述非接触间距测量模块包括第三光源、第一耦合器、参考臂、第二耦合器、第二探测器、第三准直镜以及与所述波前像差测量模块共用的第一二向色镜和第二二向色镜；

所述第一光源出射的光经所述第一准直镜准直、所述第一分束镜反射后透射所述第一二向色镜，然后由所述第二二向色镜反射至待测镜头，通过待测镜头后的光经所述反射镜反射后再次经过待测镜头，然后经所述第二二向色镜反射、第一二向色镜透射、第一分束镜透射后再依次经过所述缩扩束镜组、微透镜阵列到达所述相机，实现待测镜头的波前像差测量；

所述第二光源出射的光经过所述分划板后由所述第二分束镜反射至所述变焦镜头，然后经所述第二二向色镜透射到达待测镜头，待测镜头的后向反射光先透射所述第二二向色镜再经过所述变焦镜头，然后透射所述第二分束镜，再经过所述成像组件到达所述第一探测器，实现待测镜头的偏心精度测量；