[实用新型]一种紫外光探测器

权利要求书

1.一种紫外光探测器，其特征在于，包括：

衬底，所述衬底具有空腔；

压电层，所述压电层位于所述衬底的一侧，并覆盖所述空腔；

位于所述压电层第一面上的顶电极、以及位于所述压电层第二面上的底电极，所述第一面和所述第二面相对，所述第二面为靠近所述衬底的一面，所述顶电极为叉指电极。

2.根据权利要求1所述的紫外光探测器，其特征在于，所述底电极为面状电极。

3.根据权利要求1所述的紫外光探测器，其特征在于，所述叉指电极的叉指周期为400nm～40μm。

4.根据权利要求1所述的紫外光探测器，其特征在于，所述压电层的厚度为500～2000nm。

5.根据权利要求1所述的紫外光探测器，其特征在于，所述衬底包括顶层和底层，所述空腔自所述顶层的上表面至所述底层的上表面设置。

6.根据权利要求5所述的紫外光探测器，其特征在于，所述衬底还包括中间层，所述中间层位于所述顶层与所述底层之间；所述空腔自所述顶层的上表面至所述中间层的上表面设置。

7.根据权利要求1所述的紫外光探测器，其特征在于，所述底电极为叉指电极。