[实用新型]一种晶圆读片改善装置

权利要求书

1.一种晶圆读片改善装置，包括装载腔支架(1)和装载平台(7)，其特征在于：所述装载腔支架(1)的上端设置有装载腔体(2)，且装载腔体(2)的右下端固定连接有气缸(3)，所述气缸(3)的下端与装载腔支架(1)固定连接，所述气缸(3)上安装有升降块(4)，所述装载腔体(2)的右侧安装有装载腔门(5)，所述升降块(4)的右端通过装载腔门支架(6)与装载腔门(5)的底部相连接，且装载腔门(5)和装载腔体(2)活动连接，所述装载平台(7)位于装载腔体(2)的内部，且装载平台(7)上均匀的设置有晶圆(8)，所述装载平台(7)的底部与装载平台升降机构(9)固定连接，且装载平台升降机构(9)与外部主机台控制机构电连接，所述装载腔门(5)的中间位置镶嵌有第一石英玻璃(10)，且第一石英玻璃(10)上安装有传感器发射端支架(11)，所述传感器发射端支架(11)上安装有传感器发射端(12)，所述装载腔体(2)的左侧壁上镶嵌有第二石英玻璃(13)，且第二石英玻璃(13)上安装有传感器接收端(14)，所述传感器发射端(12)和传感器接收端(14)共线设置，所述传感器发射端支架(11)上预留有导轨(15)，且导轨(15)内安装有螺母(17)，所述螺母(17)上安装有螺栓(16)，所述螺栓(16)贯穿传感器发射端(12)的一侧，且传感器发射端(12)通过螺栓(16)与传感器发射端支架(11)构成拆卸安装结构，所述述螺母(17)和螺栓(16)的整体通过导轨(15)与传感器发射端支架(11)构成滑动连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆读片改善装置，其特征在于：所述装载腔门(5)通过气缸(3)和升降块(4)与装载腔体(2)构成升降式开启闭合结构。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆读片改善装置，其特征在于：所述装载平台升降机构(9)贯穿装载腔体(2)，且装载平台升降机构(9)和装载平台(7)构成升降结构。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆读片改善装置，其特征在于：所述传感器发射端支架(11)包括支架安装孔(1101)和刻度线(1102)，且支架安装孔(1101)设置有两个，并且支架安装孔(1101)关于传感器发射端支架(11)轴线对称设置，同时刻度线(1102)位于导轨(15)的侧边上。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆读片改善装置，其特征在于：所述导轨(15)设有两个，且导轨(15)的顶部为开口状。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆读片改善装置，其特征在于：所述螺栓(16)和螺母(17)设有两组，且螺母(17)位于传感器发射端支架(11)的内部。