[实用新型]一种单层多自由度气静压纳米定位平台

权利要求书

1.一种单层多自由度气静压纳米定位平台，包括工作台(1)，其特征在于，所述工作台(1)的上方设有工作箱(2)，所述工作台(1)的上端左右两侧的前后两端均固定连接有第一支撑腿(3)，四个所述第一支撑腿(3)的上端分别与工作箱(2)的下端左右两侧的前后两端固定连接，所述工作箱(2)的内部设有定位机构，所述工作台(1)连接有水冷机构并通过水冷机构与工作箱(2)连接，所述水冷机构包括蓄水箱(4)、水泵(5)及风机(6)，所述蓄水箱(4)的下端与工作箱(2)的上端后侧固定连接，所述蓄水箱(4)的内部固定设有隔板(7)并通过隔板(7)分为冷却腔及蓄水腔，所述蓄水腔的右侧壁固定连接有进水管(8)，所述水泵(5)位于蓄水腔的内部固定设置，且水泵(5)的输出端固定连接有输水管(9)，所述工作箱(2)的箱壁内部开设有矩形腔体，所述输水管(9)远离水泵(5)的一端依次贯穿蓄水腔的侧壁及工作箱(2)的侧壁并延伸至矩形腔体内部，所述矩形腔体的下侧壁固定连接有回流管(10)，所述回流管(10)远离矩形腔体的一端依次贯穿冷却腔的侧壁及隔板(7)的侧壁并延伸至蓄水腔内部，所述风机位于冷却腔内部固定设置，且冷却腔的左右侧壁均开设有通风口，所述工作台(1)的下端四角处均固定连接有第二支撑腿(11)，且同侧两个第二支撑腿(11)共同连接有移动机构。

2.根据权利要求1所述的一种单层多自由度气静压纳米定位平台，其特征在于，每组所述移动机构包括两个螺纹杆(12)、两个万向轮(13)、两个活动板(14)及两组第三支撑腿(15)，两个所述第二支撑腿(11)的下端均开设有与万向轮(13)相匹配的收纳槽，两个所述收纳槽的左右侧壁均开设有凹槽，所述螺纹杆(12)通过第一滚动轴承与其中一个凹槽的侧壁转动连接，另一个所述凹槽的内部固定设有固定杆(16)，所述活动板(14)的上端右侧通过通孔与固定杆(16)的杆壁滑动连接，所述活动板(14)的上端左侧通过螺纹孔与螺纹杆(12)的杆壁螺纹连接，所述活动板(14)的下端连接有减震组件并通过减震组件与万向轮(13)连接，所述第二支撑腿(11)的内部开设有与螺纹杆(12)位置相对应的第一腔体，且螺纹杆(12)的上端延伸至第一腔体内部，所述螺纹杆(12)位于第一腔体内部的一端固定套接有蜗轮(17)，所述第一腔体的侧壁通过第二滚动轴承转动连接有蜗杆(18)，且蜗杆(18)延伸至外部，所述蜗轮(17)与蜗杆(18)相啮合连接，两个所述蜗杆(18)的杆壁位于第一腔体外部的一端均固定套接有皮带轮，两个所述皮带轮通过皮带(19)传动连接，每组两个所述第三支撑腿(15)的水平部相向一端分别与第二支撑腿(11)的左右侧壁下端固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种单层多自由度气静压纳米定位平台，其特征在于，每个所述减震组件包括两个滑杆(20)及两个减震弹簧(21)，所述万向轮(13)的上端固定连接有连接板(22)，两个所述滑杆(20)的杆壁均通过滑孔分别与连接板(22)的上端左右两侧滑动连接，两个所述滑杆(20)的上端分别与活动板(14)的下端左右两侧固定连接，所述减震弹簧(21)的上下两端分别与活动板(14)的下端及连接板(22)的上端固定连接，且减震弹簧(21)与滑杆(20)的杆壁活动套接。

4.根据权利要求3所述的一种单层多自由度气静压纳米定位平台，其特征在于，两个所述滑杆(20)的下端均固定连接有限位块(23)。

5.根据权利要求1所述的一种单层多自由度气静压纳米定位平台，其特征在于，所述矩形腔体内部固定连接有多个弧形导流板(24)。

6.根据权利要求2所述的一种单层多自由度气静压纳米定位平台，其特征在于，其中两个所述蜗杆(18)的相反两端均固定连接有转盘(25)。