[实用新型]一种单层多自由度气静压纳米定位平台

说明书

本实用新型涉及纳米定位技术领域，且公开了一种单层多自由度气静压纳米定位平台，包括工作台，工作台的上方设有工作箱，工作台的上端左右两侧的前后两端均固定连接有第一支撑腿，四个第一支撑腿的上端分别与工作箱的下端左右两侧的前后两端固定连接，工作箱的内部设有定位机构，工作台连接有水冷机构并通过水冷机构与工作箱连接，水冷机构包括蓄水箱、水泵及风机，蓄水箱的下端与工作箱的上端后侧固定连接，蓄水箱的内部固定设有隔板并通过隔板分为冷却腔及蓄水腔。本实用新型能够有效对压电致动器进行降温，防止压电致动器发送温度形变，影响定位结果误差，同时便于人们快速移动工作平台。

技术领域

本实用新型涉及纳米定位技术领域，尤其涉及一种单层多自由度气静压纳米定位平台。

背景技术

目前半导体产业、生命科学领域、光电系统、显微机构如STM、 AFM等方面，皆朝微下化、精密化的方向发展，因此，对于微米甚至是纳米级的定位装置需求量日增。

目前，现有的纳米定位平台，存在多种类型，其中单层多自由度气静压纳米定位平台较为全面及精准，但是在该类纳米定位平台的压电致动器会存在温升形变的问题，影响对位移结果的准确性，因此，提出一种单层多自由度气静压纳米定位平台。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中的纳米定位平台，存在多种类型，其中单层多自由度气静压纳米定位平台较为全面及精准，但是在该类纳米定位平台的压电致动器会存在温升形变的问题，影响对位移结果的准确性的问题，而提出的一种单层多自由度气静压纳米定位平台。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种单层多自由度气静压纳米定位平台，包括工作台，所述工作台的上方设有工作箱，所述工作台的上端左右两侧的前后两端均固定连接有第一支撑腿，四个所述第一支撑腿的上端分别与工作箱的下端左右两侧的前后两端固定连接，所述工作箱的内部设有定位机构，所述工作台连接有水冷机构并通过水冷机构与工作箱连接，所述水冷机构包括蓄水箱、水泵及风机，所述蓄水箱的下端与工作箱的上端后侧固定连接，所述蓄水箱的内部固定设有隔板并通过隔板分为冷却腔及蓄水腔，所述蓄水腔的右侧壁固定连接有进水管，所述水泵位于蓄水腔的内部固定设置，且水泵的输出端固定连接有输水管，所述工作箱的箱壁内部开设有矩形腔体，所述输水管远离水泵的一端依次贯穿蓄水腔的侧壁及工作箱的侧壁并延伸至矩形腔体内部，所述矩形腔体的下侧壁固定连接有回流管，所述回流管远离矩形腔体的一端依次贯穿冷却腔的侧壁及隔板的侧壁并延伸至蓄水腔内部，所述风机位于冷却腔内部固定设置，且冷却腔的左右侧壁均开设有通风口，所述工作台的下端四角处均固定连接有第二支撑腿，且同侧两个第二支撑腿共同连接有移动机构。

优选的，每组所述移动机构包括两个螺纹杆、两个万向轮、两个活动板及两组第三支撑腿，两个所述第二支撑腿的下端均开设有与万向轮相匹配的收纳槽，两个所述收纳槽的左右侧壁均开设有凹槽，所述螺纹杆通过第一滚动轴承与其中一个凹槽的侧壁转动连接，另一个所述凹槽的内部固定设有固定杆，所述活动板的上端右侧通过通孔与固定杆的杆壁滑动连接，所述活动板的上端左侧通过螺纹孔与螺纹杆的杆壁螺纹连接，所述活动板的下端连接有减震组件并通过减震组件与万向轮连接，所述第二支撑腿的内部开设有与螺纹杆位置相对应的第一腔体，且螺纹杆的上端延伸至第一腔体内部，所述螺纹杆位于第一腔体内部的一端固定套接有蜗轮，所述第一腔体的侧壁通过第二滚动轴承转动连接有蜗杆，且蜗杆延伸至外部，所述蜗轮与蜗杆相啮合连接，两个所述蜗杆的杆壁位于第一腔体外部的一端均固定套接有皮带轮，两个所述皮带轮通过皮带传动连接，每组两个所述第三支撑腿的水平部相向一端分别与第二支撑腿的左右侧壁下端固定连接。

优选的，每个所述减震组件包括两个滑杆及两个减震弹簧，所述万向轮的上端固定连接有连接板，两个所述滑杆的杆壁均通过滑孔分别与连接板的上端左右两侧滑动连接，两个所述滑杆的上端分别与活动板的下端左右两侧固定连接，所述减震弹簧的上下两端分别与活动板的下端及连接板的上端固定连接，且减震弹簧与滑杆的杆壁活动套接。