[实用新型]晶圆寻心偏移监测装置

权利要求书

1.一种晶圆寻心偏移监测装置，其特征在于，包括晶圆运送机械手、安装在所述晶圆运送机械手上的由多个寻心传感器组成的寻心传感器组和分设于所述寻心传感器组外两侧的偏移监测传感器，所述寻心传感器包括光接收部和反光部，所述反光部用于将光反射给所述光接收部，所述反光部位于晶圆所在区域的内侧，所述偏移监测传感器位于所述晶圆所在区域的外侧。

2.根据权利要求1所述的晶圆寻心偏移监测装置，其特征在于，所述寻心传感器为三个，所述反光部为反光槽，所述光接收部分别对准各自的所述反光槽。

3.根据权利要求1所述的晶圆寻心偏移监测装置，其特征在于，还包括设于所述晶圆运送机械手上的多个吸附单元，多个所述吸附单元间隔设于所述晶圆所在区域的圆周，每个所述吸附单元包括凸设在所述晶圆运送机械手上表面的摩擦凸柱，所述摩擦凸柱设有吸附孔，所述吸附孔位于所述晶圆运送机械手的下方连接有真空管路。

4.根据权利要求3所述的晶圆寻心偏移监测装置，其特征在于，所述摩擦凸柱为复合橡胶摩擦凸柱，所述摩擦凸柱呈盘形圆柱体。

5.根据权利要求3所述的晶圆寻心偏移监测装置，其特征在于，所述晶圆运送机械手包括手柄和设于所述手柄一端的环形托盘；

所述吸附单元为三个，三个所述吸附单元分布在所述环形托盘的圆周面。

6.根据权利要求5所述的晶圆寻心偏移监测装置，其特征在于，两个所述偏移监测传感器关于所述手柄的中心轴线呈中心对称设置。

7.根据权利要求3所述的晶圆寻心偏移监测装置，其特征在于，所述晶圆运送机械手上设置有摩擦凸柱安装孔和偏移监测传感器安装槽，所述摩擦凸柱安装在所述摩擦凸柱安装孔中，所述偏移监测传感器通过连接件安装在所述偏移监测传感器安装槽中。

8.根据权利要求7所述的晶圆寻心偏移监测装置，其特征在于，所述偏移监测传感器的上表面不高出所述偏移监测传感器安装槽的上表面。

9.根据权利要求1所述的晶圆寻心偏移监测装置，其特征在于，所述晶圆运送机械手为铝合金平板制成。

10.根据权利要求3所述的晶圆寻心偏移监测装置，其特征在于，所述晶圆运送机械手与所述摩擦凸柱的总厚度不大于5毫米。