[实用新型]一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构

权利要求书

1.一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构，包括底座（1）和转动块（3），其特征在于：所述底座（1）的顶部四周均固定安装多个导向柱（2），所述转动块（3）中部开有连接孔（4），所述连接孔（4）的内壁底部固定套接有摩擦垫（8），所述摩擦垫（8）的内壁转动套接在导向柱（2）上，所述转动块（3）的圆周外壁顶部固定安装有压板（6），所述压板（6）底部的转动块（3）外壁上固定安装有挤压块（5），所述连接孔（4）的顶部内壁和导向柱（2）的顶部间安装有压紧机构（7）。

2.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构，其特征在于：所述压板（6）为扇形环状结构，且压板（6）所对应的圆心角小于180°，所述挤压块（5）为弧形结构，所述挤压块（5）的中心线和压板（6）的中心线位于同一竖直平面上，且挤压块（5）的圆心角小于压板（6）的圆心角，所述挤压块（5）的外壁到转动块（3）轴线的距离小于压板（6）的外壁到转动块（3）轴线的距离。

3.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构，其特征在于：所述摩擦垫（8）的内壁和压板（6）的底部外壁均为网状防滑结构，所述压板（6）的两侧壁均开有倾斜的导向斜面（13）。

4.根据权利要求1所述的一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构，其特征在于：所述压紧机构（7）包括连接柱（72），所述连接柱（72）贯穿连接孔（4）的顶部并通过螺纹结构连接导向柱（2）的顶部外壁，所述导向柱（2）顶部的连接孔（4）内壁固定安装下挡环（76），所述连接柱（72）的外壁上滑动套接衬套（75），所述衬套（75）的底部紧密压在下挡环（76）上，且衬套（75）的圆周外壁滑动连接连接孔（4）的内壁，所述衬套（75）的顶部固定安装有导向套（74），所述导向套（74）的内壁滑动套接在连接柱（72）上，所述导向套（74）的外壁滑动套接弹簧（73），所述连接柱（72）的顶部固定安装上挡环（71），所述弹簧（73）的两端分别固定连接上挡环（71）和衬套（75）。

5.根据权利要求4所述的一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构，其特征在于：所述弹簧（73）的内径等于导向套（74）的外径，所述弹簧（73）的外径小于衬套（75）的外径，所述连接柱（72）的外壁开有限位槽（9），所述衬套（75）的内壁固定安装限位块（10），所述限位块（10）滑动卡接在限位槽（9）内。

6.根据权利要求4所述的一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构，其特征在于：所述衬套（75）的底部外壁和圆周外壁均转动套接多个滚珠（12），所述下挡环（76）的顶部和连接孔（4）的内壁上均开有滑槽（11），所述滚珠（12）滑动卡接在滑槽（11）内。