[实用新型]一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构

说明书

本实用新型公开了一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构，包括底座和转动块，底座的顶部四周均固定安装多个导向柱，转动块中部开有连接孔，连接孔的内壁底部固定套接有摩擦垫，摩擦垫的内壁转动套接在导向柱上，转动块的圆周外壁顶部固定安装有压板，压板底部的转动块外壁上固定安装有挤压块，连接孔的顶部内壁和导向柱的顶部间安装有压紧机构。先转动转动块，使得压板和挤压块朝向底座外壁，便于将板件放置在底座中部，然后再转动转动块，使得压板和挤压块转向板件，挤压块逐渐挤压板件四周侧壁，对板件进行水平限位，压板转至板件边缘顶部，并且压紧机构下压转动块，从而使得压板压紧在板件顶部，从而对板件快速压紧限位，便于使用。

技术领域

本实用新型涉及等离子刻蚀技术领域，具体为一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构。

背景技术

等离子刻蚀，是干法刻蚀中最常见的一种形式，刻蚀时需要对工件进行限位，当加工工件为板件时，常常将板件放置在工作台上，并在板件的四周的工作台上通过螺栓安装多个压环，通过压环将板件压紧限位在工作台上，但是，多个压环通过螺栓压紧，在安装和拆卸板件时均需要多次拧紧或拧松螺栓，操作繁琐，不利于快速压紧和拆卸，为此我们提出一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种等离子刻蚀设备的板件限位压环结构，包括底座和转动块，所述底座的顶部四周均固定安装多个导向柱，所述转动块中部开有连接孔，所述连接孔的内壁底部固定套接有摩擦垫，所述摩擦垫的内壁转动套接在导向柱上，所述转动块的圆周外壁顶部固定安装有压板，所述压板底部的转动块外壁上固定安装有挤压块，所述连接孔的顶部内壁和导向柱的顶部间安装有压紧机构。

优选的，所述压板为扇形环状结构，且压板所对应的圆心角小于180°，所述挤压块为弧形结构，所述挤压块的中心线和压板的中心线位于同一竖直平面上，且挤压块的圆心角小于压板的圆心角，所述挤压块的外壁到转动块轴线的距离小于压板的外壁到转动块轴线的距离。

优选的，所述摩擦垫的内壁和压板的底部外壁均为网状防滑结构，所述压板的两侧壁均开有倾斜的导向斜面。

优选的，所述压紧机构包括连接柱，所述连接柱贯穿连接孔的顶部并通过螺纹结构连接导向柱的顶部外壁，所述导向柱顶部的连接孔内壁固定安装下挡环，所述连接柱的外壁上滑动套接衬套，所述衬套的底部紧密压在下挡环上，且衬套的圆周外壁滑动连接连接孔的内壁，所述衬套的顶部固定安装有导向套，所述导向套的内壁滑动套接在连接柱上，所述导向套的外壁滑动套接弹簧，所述连接柱的顶部固定安装上挡环，所述弹簧的两端分别固定连接上挡环和衬套。

优选的，所述弹簧的内径等于导向套的外径，所述弹簧的外径小于衬套的外径，所述连接柱的外壁开有限位槽，所述衬套的内壁固定安装限位块，所述限位块滑动卡接在限位槽内。

优选的，所述衬套的底部外壁和圆周外壁均转动套接多个滚珠，所述下挡环的顶部和连接孔的内壁上均开有滑槽，所述滚珠滑动卡接在滑槽内。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：手动转动转动块，使得压板和挤压块转向板件，压板通过导向斜面导向而滑至板件顶部，挤压块的弧面接触板件外壁从而逐渐挤压板件，将板件夹紧，对板件进行水平方向的限位，压紧机构下压转动块使得压板压紧板件，对板件进行竖直方向的限位，便于板件刻蚀；摩擦垫的内壁和压板的底部外壁均为网状防滑结构，从而增加摩擦垫和导向柱间的摩擦力以及压板和板件间的摩擦力，使得压紧机构将转动块压紧后转动块不会自行转动，确保限位稳定；衬套通过限位块和限位槽限位只能沿连接柱滑动而无法转动，且弹簧外壁不接触连接孔内壁，从而避免转动块转动时将弹簧转动扭曲损坏；衬套与连接孔和下挡环间通过滚珠接触，从而减小摩擦力，转动块转动时将连接柱和导向柱间的螺纹结构拧松，确保装置结构的稳定性。

附图说明