[实用新型]一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器

权利要求书

1.一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)内右侧壁上安装有石英悬臂梁(2)，石英悬臂梁(2)上靠近壳体(1)右侧壁位置安装有第二SAW谐振器(3)，石英悬臂梁(2)上远离与壳体(1)连接的一端安装有第一SAW谐振器(10)，所述壳体(1)内石英悬臂梁(2)下方的右侧壁上安装有电阻柱(4)，电阻柱(4)末端安装有导电块(5)，所述石英悬臂梁(2)前端下方设有线圈(6)，线圈(6)通过连接杆(8)与第一SAW谐振器(10)连接，线圈(6)内设有衔铁(11)，衔铁(11)通过固定杆(7)固定于壳体(1)左侧壁上，所述壳体(1)上前侧位置安装有与第二SAW谐振器(3)、第一SAW谐振器(10)、导电块(5)、以及线圈(6)连接的集成信号线(9)。

2.根据权利要求1所述的一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，其特征在于，所述第一SAW谐振器(10)与第二SAW谐振器(3)均包括压电基片(12)，以及压电基片(12)上中间位置设置的叉指换能器(13)，压电基片(12)上靠近左右两侧设置的反射栅(14)，压电基片(12)上左右两侧设置的第一吸收板(15)，反射栅(14)与叉指换能器(13)之间靠近压电基片(12)前后两侧位置分别安装有第二吸收条(16)。

3.根据权利要求2所述的一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，其特征在于，所述反射栅(14)为向叉指换能器(13)弯曲的弧形结构设置。

4.根据权利要求2所述的一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，其特征在于，所述第二SAW谐振器(3)安装位置的石英悬臂梁(2)不具备形变能力，所述第一SAW谐振器(10)安装位置的石英悬臂梁(2)具有形变能力，且为形变幅度最大位置。

5.根据权利要求1～4任一所述的一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，其特征在于，所述壳体(1)上左右两侧分别连接有固定板(17)，固定板(17)上设有固定螺栓(19)，固定板(17)与壳体(1)左右两侧的侧壁之间还通过三角加强板(18)相连固定。

6.根据权利要求5所述的一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，其特征在于，所述固定板(17)上底部位置均匀设有凸齿(20)。