[实用新型]一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器

说明书

本实用新型公开了一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，包括壳体，壳体内右侧壁上安装有石英悬臂梁，石英悬臂梁上靠近壳体右侧壁位置安装有第二SAW谐振器，石英悬臂梁上远离与壳体连接的一端安装有第一SAW谐振器，所述壳体内石英悬臂梁下方的右侧壁上安装有电阻柱，电阻柱末端安装有导电块，所述石英悬臂梁前端下方设有线圈，线圈通过连接杆与第一SAW谐振器连接，线圈内设有衔铁。本实用新型提供一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，结构设置巧妙，且布局合理，通过设置线圈与形变位置的SAW谐振器相连，在线圈内设置衔铁，构成差动式电感传感器，利用其差动距离结合SAW谐振器的反馈数据进行分析，可以得到更精确的加速度数据。

技术领域

本实用新型涉及传感器设备技术领域，具体是一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器。

背景技术

加速度传感器是利用物体的惯性性质来测量物体运动情况的一类惯性传感器。它输出与运载体的运动加速度成比例或有一定关系的信号。在类型各异、种类众多的加速度传感器中，声表面波加速度传感器结构简单、制作方便，且具有耐冲击、性能稳定可靠、灵敏度高和准数字输出等许多优点，是一种应用前景光明的加速度传感器。传统的声表面波加速度传感器使用悬臂梁式，由于两个敏感应变的SAW谐振器是制作在悬臂梁上下表面，而且工艺上在上下梁表面制作物理特性一致的两个SAW谐振器比较困难，因此SAW谐振器的温度位移较大,造成悬臂梁式SAW加速度传感器的测量准确度和稳定性不高。因此我们提出一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种具有差动测量结构的声表面波加速度传感器，包括壳体，所述壳体内右侧壁上安装有石英悬臂梁，石英悬臂梁上靠近壳体右侧壁位置安装有第二SAW谐振器，石英悬臂梁上远离与壳体连接的一端安装有第一SAW谐振器，所述壳体内石英悬臂梁下方的右侧壁上安装有电阻柱，电阻柱末端安装有导电块，所述石英悬臂梁前端下方设有线圈，线圈通过连接杆与第一SAW谐振器连接，线圈内设有衔铁，衔铁通过固定杆固定于壳体左侧壁上，所述壳体上前侧位置安装有与第二SAW谐振器、第一SAW谐振器、导电块、以及线圈连接的集成信号线。

作为本实用新型的进一步方案：所述第一SAW谐振器与第二SAW谐振器均包括压电基片，以及压电基片上中间位置设置的叉指换能器，压电基片上靠近左右两侧设置的反射栅，压电基片上左右两侧设置的第一吸收板，反射栅与叉指换能器之间靠近压电基片前后两侧位置分别安装有第二吸收条。

作为本实用新型的再进一步方案：所述反射栅为向叉指换能器弯曲的弧形结构设置。

作为本实用新型的再进一步方案：所述第二SAW谐振器安装位置的石英悬臂梁不具备形变能力，所述第一SAW谐振器安装位置的石英悬臂梁具有形变能力，且为形变幅度最大位置。

作为本实用新型的再进一步方案：所述壳体上左右两侧分别连接有固定板，固定板上设有固定螺栓，固定板与壳体左右两侧的侧壁之间还通过三角加强板相连固定。

作为本实用新型的再进一步方案：所述固定板上底部位置均匀设有凸齿。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于以下几个方面：

本实用新型中，通过在石英悬臂梁的同一侧设置两个SAW谐振器，并将其中一个设置在无形变的位置，另一个设置在形变最大位置，通过以无形变位置的SAW谐振器作为基准零点，以形变位置SAW谐振器作为主测量点，可以消除环境温度对SAW谐振器产生的影响。