[实用新型]一种探针卡用预热装置、预热保温结构和探针卡夹取结构

权利要求书

1.一种探针卡用预热装置，其特征在于：包括外下壳（8）、外上壳（13）、预热保温结构和探针卡夹取结构，所述外上壳（13）的侧表面上固定连接有铰链（6），所述铰链（6）上固定连接有外下壳（8），所述外上壳（13）与外下壳（8）的接触面上均固定连接有磁铁块（12），所述外上壳（13）与外下壳（8）的内腔中固定安装有预热保温结构，所述外上壳（13）的表面上固定安装有探针卡夹取结构；

所述预热保温结构包括镜面层（2）、金属托网（3）、电加热丝（7）、隔热层（9）、保温层（10）和金属内壳下层（11），所述外上壳（13）和外下壳（8）的内侧均固定连接有隔热层（9）和保温层（10），所述外上壳（13）的内侧固定连接有金属内壳上层（1），所述金属内壳上层（1）的内侧固定连接有镜面层（2），所述外下壳（8）的内侧固定连接有金属内壳下层（11），所述金属内壳下层（11）的内侧固定连接有电加热丝（7），所述金属内壳下层（11）内侧壁顶端固定连接有金属托网（3）；

所述探针卡夹取结构包括型手柄杆（14）、矩形固定壳（15）、手柄杆（16）、耐热橡胶块（17）、夹杆（18）、弹簧连接绳（19）和滑块（20），所述矩形固定壳（15）的两侧内腔中均滑动连接有滑块（20），所述滑块（20）的一端固定连接有弹簧（21）的一端，所述弹簧（21）的另一端固定连接至矩形固定壳（15）的内腔侧壁上，所述滑块（20）的上下端面上分别固定连接有型手柄杆（14）和夹杆（18）的一端，所述型手柄杆（14）和夹杆（18）分别贯穿矩形固定壳（15）的内腔上下壁且延伸至壁外，所述型手柄杆（14）的另一端固定连接有手柄杆（16），所述夹杆（18）的另一端固定连接有耐热橡胶块（17），所述矩形固定壳（15）的侧表面固定连接有弹簧连接绳（19）的一端，所述弹簧连接绳（19）的另一端固定连接至外上壳（13）的表面侧壁上。

2.根据权利要求1所述的一种探针卡用预热装置，其特征在于：所述金属内壳上层（1）和金属内壳下层（11）的内侧壁上均固定连接有镜面层（2）。

3.根据权利要求1所述的一种探针卡用预热装置，其特征在于：所述外上壳（13）的表面上固定安装有温度计（4），所述金属内壳上层（1）的内侧壁上固定安装有温度计探头（5），所述温度计探头（5）和温度计（4）之间电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种探针卡用预热装置，其特征在于：所述外上壳（13）的表面上固定连接有两个插槽（23），所述矩形固定壳（15）的表面两侧均固定连接有插杆（22），所述探针卡夹取结构通过插杆（22）和插槽（23）的插接固定在外上壳（13）的表面上。

5.根据权利要求1所述的一种探针卡用预热装置，其特征在于：所述保温层（10）处于隔热层（9）的内侧，所述金属内壳上层（1）和金属内壳下层（11）均处于保温层（10）的内侧。

6.根据权利要求1所述的一种探针卡用预热装置，其特征在于：所述隔热层（9）为保温岩棉材料构成，所述保温层（10）为气凝胶毡材料构成。

7.一种权利要求1所述探针卡用预热装置用预热保温结构，其特征在于：包括镜面层（2）、金属托网（3）、电加热丝（7）、隔热层（9）、保温层（10）和金属内壳下层（11），所述外上壳（13）和外下壳（8）的内侧均固定连接有隔热层（9）和保温层（10），所述外上壳（13）的内侧固定连接有金属内壳上层（1），所述金属内壳上层（1）的内侧固定连接有镜面层（2），所述外下壳（8）的内侧固定连接有金属内壳下层（11），所述金属内壳下层（11）的内侧固定连接有电加热丝（7），所述金属内壳下层（11）内侧壁顶端固定连接有金属托网（3）。

8.一种权利要求1所述探针卡用预热装置用探针卡夹取结构，其特征在于：包括型手柄杆（14）、矩形固定壳（15）、手柄杆（16）、耐热橡胶块（17）、夹杆（18）、弹簧连接绳（19）和滑块（20），所述矩形固定壳（15）的两侧内腔中均滑动连接有滑块（20），所述滑块（20）的一端固定连接有弹簧（21）的一端，所述弹簧（21）的另一端固定连接至矩形固定壳（15）的内腔侧壁上，所述滑块（20）的上下端面上分别固定连接有型手柄杆（14）和夹杆（18）的一端，所述型手柄杆（14）和夹杆（18）分别贯穿矩形固定壳（15）的内腔上下壁且延伸至壁外，所述型手柄杆（14）的另一端固定连接有手柄杆（16），所述夹杆（18）的另一端固定连接有耐热橡胶块（17），所述矩形固定壳（15）的侧表面固定连接有弹簧连接绳（19）的一端，所述弹簧连接绳（19）的另一端固定连接至外上壳（13）的表面侧壁上。